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采用真空蒸鍍法在硅片表面形成了一層具有表面增強(qiáng)拉曼活性的金島膜拉曼光譜發(fā)現(xiàn)該金島膜表面存在非晶態(tài)碳的污染物通過(guò)比較不同清洗方法的拉曼光譜可以證明, 用氧氣等離子體清洗金島 膜可有效去除金表面的雜質(zhì)金島膜的表面增強(qiáng)拉曼活性在清洗前后沒(méi)有發(fā)生明顯變化

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