電化學(xué)ECV,摻雜濃度檢測(cè)（C-V Profi領(lǐng)）PN結(jié)深測(cè)試 電化學(xué)ECV可以用于太陽能電池LED等產(chǎn)業(yè)，是化合物半導(dǎo)體材料研究或開發(fā)的主要工具之一 電化學(xué)ECV主要用于半導(dǎo)體材料的研究及開發(fā)，其原理是使用電化學(xué)電容-電壓法來測(cè)量半導(dǎo)體材料的摻雜濃度分布 電化學(xué)ECV(CV-Profiler, C-V Profiler)也是分析或發(fā)展半導(dǎo)體光-電化學(xué)濕法蝕刻(PEC Etching)很好的選擇 本設(shè)備適用于評(píng)估和控制在半導(dǎo)體生產(chǎn)中的外延過程并且以被使用在多種不同的材料上，例如：Silicon, Germanium, III-V including III-Nitrides. CVP 21 的凈室和模塊化的系統(tǒng)設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)使得本系統(tǒng)可以GX率，準(zhǔn)確的測(cè)量半導(dǎo)體材料（結(jié)構(gòu)，層）中的摻雜濃度分布．選用合適的電解液與材料接觸，腐蝕，從而得到材料的摻雜濃度分布電容值電壓掃描和腐蝕過程由軟件全自動(dòng)控制 CVP21的系統(tǒng)特點(diǎn) ? 堅(jiān)固可靠的模塊化系統(tǒng)結(jié)構(gòu) ．光學(xué)，電子和化學(xué)部分相對(duì)獨(dú)立． ? 極ng確的測(cè)量電路模塊 ? QL的控制軟件，系統(tǒng)操作，使用簡(jiǎn)便 ? 完善的售后服務(wù)體系