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這種復(fù)合型材料要獲得有效截面,機(jī)械切割磨拋方式很難保證切割面的平整,也無法避免樣品剖面的污染和邊緣損傷;如果采用聚焦離子束FIB加工,應(yīng)對(duì)幾百微米的加工區(qū)域,將耗費(fèi)大量時(shí)間和帶來極高的使用成本因此,氬離子束切割儀幾乎成為GX率低成本的獲取無應(yīng)力損傷和無污染的平整剖面的**的選擇 三離子束切割儀 Leica EM TIC 3X

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