本文敘述高純SiH4 中痕量雜質(zhì)的轉(zhuǎn)化色譜分析條件裝置及流程通過弱極性有機(jī)擔(dān)體柱有效地將PPM硅烷中級雜質(zhì)與主組份分離分離后的主組份經(jīng)氫氣氛下高溫還原和電石轉(zhuǎn)化生成烴類, 送高FID靈敏檢測, 當(dāng)進(jìn)樣量為1毫升, 記錄儀為1毫伏(250毫米)時(shí), 本試驗(yàn)所得靈敏度,CO.0.15vpm/min CH4 0.08vpm/, ,(樣品直接送FDI檢測靈敏度)CO2.0.5vpm/min ,H2O 0.3vpm/min 同時(shí),確定了較滿意的分析操作參數(shù), 提出了相應(yīng)的分析流程 氦離子化氣相色譜儀