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摘要:薄膜材料微加工是微納技術(shù)微機(jī)電系統(tǒng)光電子領(lǐng)域的核心技術(shù)文章提出了針對薄膜加工時缺乏有效的質(zhì)量控制手段,應(yīng)用激光誘導(dǎo)等離子體(LIBS)技術(shù)進(jìn)行過程表征的方法 海洋光學(xué)LIBS-INSIGHT元素分析儀

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