應(yīng)用納米壓入儀（NHT）測量集成電路中金質(zhì)連線的性質(zhì)展示了納米壓痕儀在微電子領(lǐng)域的應(yīng)用 瑞士CSM儀器公司 ----- 材料及其表面機(jī)械性質(zhì)檢測儀器領(lǐng)域的CSM儀器公司總部位于瑞士，在美國和德國設(shè)有分公司，在各主要國家擁有自己的銷售服務(wù)網(wǎng)絡(luò) 瑞士CSM儀器公司三十年來致力于為材料物理機(jī)械工作者提供先進(jìn)極ng準(zhǔn)全面的材料機(jī)械性質(zhì)測試儀器分析咨詢以及測試服務(wù)我們的主要產(chǎn)品包括： 測量材料硬度和彈性模量的納米級微米級儀器化壓入測試儀（NanoIndentation, MicroIndentation）； 界定膜基結(jié)合強(qiáng)度薄膜抗劃擦能力的納米級微米級大載荷劃痕測試儀 (Scratch tester) ； 包括真空高溫以及線性往復(fù)運(yùn)動(dòng)等選項(xiàng)的摩擦磨損測試儀納米摩擦儀 (Tribometer) ； Z簡便易用的膜厚測試儀； 用于三維成像表征材料表面形貌的原子力顯微鏡 (AFM) 和共焦顯微鏡 (Confocal Microscope) 我們的開放式全自動(dòng)測試平臺(tái)可以讓您任意組合不同測試模塊，并支持多試樣全自動(dòng)化測量 納米壓痕儀