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使用X-熒光能譜儀進行多層薄膜厚度測量技術(shù)在半導(dǎo)體材料鍍層分析上廣泛使用但是納米級薄膜測量技術(shù)仍然是測量技術(shù)的難點本文詳細介紹了使用QuanX 熒光能譜儀進行這種分析的全過程 X射線熒光光譜儀

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