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實(shí)驗(yàn)報(bào)告的是通過(guò)二次離子質(zhì)譜儀(SIMS)對(duì)CrN/AlN高溫氧化物多涂層進(jìn)行的深度剖析.涂層是通過(guò)一個(gè)封閉非平衡的磁電管沉積成的.氧化是在900度下進(jìn)行2小時(shí),在1100度下進(jìn)行4小時(shí). 二次離子質(zhì)譜探針

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