本文研究了各種測(cè)量模式，并且詳細(xì)闡述了干涉測(cè)量的優(yōu)點(diǎn)，即激光器裝在獨(dú)立的三角架上，干涉光學(xué)鏡為分離安裝本文還ZD介紹了環(huán)境補(bǔ)償系統(tǒng)對(duì)線性測(cè)量精度的影響的重要性 本文闡述了使用分離式干涉光學(xué)鏡的激光干涉儀系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)是保證測(cè)量精度相反，帶內(nèi)置線性干涉鏡的電子標(biāo)靶系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)是便攜性和使用便捷然而，電子標(biāo)靶系統(tǒng)容易帶來(lái)大量的附加誤差來(lái)源，這使得該類系統(tǒng)的精度受到置疑因?yàn)榛诩す獾母缮嫘?zhǔn)系統(tǒng)的主要評(píng)價(jià)指標(biāo)應(yīng)是精度和其測(cè)量結(jié)果的可重復(fù)性，因此當(dāng)我們將電子標(biāo)靶系統(tǒng)和完全采用干涉測(cè)量技術(shù)的類同與雷尼紹XL80 激光干涉儀系統(tǒng)進(jìn)行評(píng)估和比較時(shí)，必須要對(duì)上述問(wèn)題加以認(rèn)真考慮 激光干涉儀