潔凈室里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣通風(fēng)和空調(diào)工藝?yán)鋮s壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半之所以造成大量浪費(fèi)電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因?yàn)樵谠O(shè)計和建造工廠時走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運(yùn)行費(fèi)用GX率的設(shè)計和GX率設(shè)備需要很大的前期投入那種小處節(jié)約大處浪費(fèi)的所謂捷徑和削減成本，會造成工廠的運(yùn)行性能降低和能耗增加