VSP-G1 納米粒子發(fā)生器是一臺(tái)桌面式儀器，用于生成尺寸范圍為 1 – 20 nm 的純金屬、金屬氧化物或合金納米氣溶膠材料。納米顆粒的生產(chǎn)完全在氣相中進(jìn)行，因此無需使用表面活性劑或前驅(qū)體。用于納米粒子生產(chǎn)的源材料是由所需材料制成的兩根靶材（電極）。使用時(shí)只需安裝電極并設(shè)置參數(shù)，按下按鈕即可開始生成納米粒子。所有 VSPARTICLE 產(chǎn)品均采用模塊化設(shè)計(jì)，因此 VSP-G1 納米粒子發(fā)生器既可以用作獨(dú)立的納米氣溶膠源，也可以與不同的沉積模塊結(jié)合使用。

美國(guó)標(biāo)準(zhǔn)局NIST 金納米粒子(公稱直徑10納米) SRM 8011-用于測(cè)試計(jì)量?jī)x器的效正效準(zhǔn)