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Wafer XRD用于全自動(dòng)晶圓揀選、生產(chǎn)和質(zhì)量控制
特點(diǎn)
適用于3到8寸晶圓。也可根據(jù)要求提供其他尺寸
FOUP、載具或單個(gè)晶圓臺(tái)
跨槽晶圓識(shí)別為可選功能
易于集成到任何工藝生產(chǎn)線中
測(cè)量速度:每個(gè)樣品<10秒
典型標(biāo)準(zhǔn)偏差(傾斜度):例如Si 100<0.003°
MES和SECS/GEM接口
銅靶微焦點(diǎn)風(fēng)冷X射線光管(**30W)或細(xì)焦點(diǎn)水冷X射線光管(**1.5kW)
完全符合CE標(biāo)準(zhǔn)的安全控制裝置
通過(guò)3色燈塔指示狀
材料
Si、SiC、GaAs、GaN、藍(lán)寶石(Al?O?)、Ge、AIN、石英、InP和100s等。
可選插件
電阻率測(cè)量范圍:0.01至0.020Ωcm
自動(dòng)識(shí)別晶圓數(shù)據(jù)矩陣碼、二維碼、條形碼或類(lèi)似代碼
未拋光晶圓和鏡面的距離測(cè)量

年產(chǎn)1,000,000片晶圓
上傳人:馬爾文帕納科
大?。? B
3321
報(bào)價(jià):面議
已咨詢(xún)1334次X射線衍射儀XRD
報(bào)價(jià):¥2000000
已咨詢(xún)168次X射線衍射儀(XRD)
報(bào)價(jià):面議
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報(bào)價(jià):面議
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報(bào)價(jià):面議
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D6 PHASER是德國(guó)布魯克AXS公司推出的全球首款集反射與透射幾何、掠入射衍射等多功能于一體的臺(tái)式X射線衍射儀,具備1200W高功率及DBO技術(shù),確保高強(qiáng)度和高精度測(cè)量,無(wú)需外接水冷且占地面積小,
FineTec 開(kāi)放式微焦點(diǎn) X 射線管是一種全金屬材質(zhì)的單極 X 射線管。與常規(guī)的 X 射線管相比,樣品能夠被放置在離焦點(diǎn)非常近的位置。
FineTec 開(kāi)放式微焦點(diǎn) X 射線管是一種全金屬材質(zhì)的單極 X 射線管。與常規(guī)的 X 射線管相比,樣品能夠被放置 在離焦點(diǎn)很近的位置,直接獲得高的幾何放大倍數(shù),微焦點(diǎn)射線源的焦點(diǎn)尺寸更小。
XRD 系列 晶圓和鑄錠快速準(zhǔn)確的晶向定位 從全自動(dòng)的在線分析到晶圓材料的快速質(zhì)量檢查,我們的晶向定位解決方案在設(shè)計(jì)時(shí)考慮到了晶棒、鑄錠、切片和晶圓的全部應(yīng)用場(chǎng)景。此系列產(chǎn)品利用XRD分析技術(shù)在晶圓生產(chǎn)的全部流程中,提供簡(jiǎn)單、快速、高精度的晶體定向測(cè)量,大大提高產(chǎn)品良率。
高階常規(guī)分析型臺(tái)式X射線衍射儀Thermo Scientific? ARL? X’TRA Companion是一款采用θ/θ 掃描和Bragg-Brentano光學(xué)幾何設(shè)計(jì)的臺(tái)式X射線衍射儀。采用先進(jìn)的硬件配置和最新的科技手段來(lái)確保其準(zhǔn)確性、精確性、安全性和易用性。
Thermo Scientific ARL EQUINOX Pro 是一款采用θ/θBragg-Brentano光學(xué)的立式X射線衍射儀。這款儀器基于“整體最優(yōu)”設(shè)計(jì)原則,憑借先進(jìn)的軟、硬件配置,實(shí)現(xiàn)儀器系統(tǒng)運(yùn)行的整體優(yōu)化,提升儀器分析的準(zhǔn)確性、精確性、易用性和安全性。這款儀器能夠出色地完成各類(lèi)粉末晶體的衍射分析,廣泛地應(yīng)用于材料研發(fā)和產(chǎn)品質(zhì)量控制的相關(guān)領(lǐng)域。
通過(guò)X射線衍射技術(shù)和全譜擬合法,對(duì)聚合物材料樣品進(jìn)行結(jié)晶度計(jì)算分析,是聚合物材料行業(yè)分析的理想工具!