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晶圓移載自動(dòng)化-Kainova Tech

面議 (具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn))
KAINOVA TECH Kainova Tech 臺(tái)灣 新竹 2026-04-14 12:09:35
售全國(guó) 入駐:11年 等級(jí):銅牌 營(yíng)業(yè)執(zhí)照已審核
同款產(chǎn)品:集成自動(dòng)化(6件)
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產(chǎn)品特點(diǎn):

晶圓分揀機(jī)(KAR-211)
設(shè)備特色
.2~8 Load Ports;內(nèi)置Load Port N2 Purge
.依制程Recipe需求,按照Wafer ID進(jìn)行排序、分批、并批、或傳到指定晶圓盒位置
.5軸雙夾爪Robot高速移載無須Track,精度高速度快
.FFU風(fēng)速與微正壓可控,內(nèi)流場(chǎng)經(jīng)CFD分析設(shè)計(jì),確保下沉氣流為均勻?qū)恿?br /> .兼容8寸、12寸、薄化晶圓;雙面晶圓刻號(hào)讀取
.對(duì)應(yīng)SECS/GEM
.對(duì)應(yīng)SEMI E84 OHT取放交握
.SEMI S2認(rèn)證
性能規(guī)格
.傳片速度:700 WPH以上
.傳片精度:±0.05mm
.ISO Class 3潔凈度(FS-209E Class 1)

產(chǎn)品詳情:

產(chǎn)品介紹:

晶圓分揀機(jī)(KAR-211)

設(shè)備特色

.2~8 Load Ports;內(nèi)置Load Port N2 Purge

.依制程Recipe需求,按照Wafer ID進(jìn)行排序、分批、并批、或傳到指定晶圓盒位置

.5軸雙夾爪Robot高速移載無須Track,精度高速度快

.FFU風(fēng)速與微正壓可控,內(nèi)流場(chǎng)經(jīng)CFD分析設(shè)計(jì),確保下沉氣流為均勻?qū)恿?/p>

.兼容8寸、12寸、薄化晶圓;雙面晶圓刻號(hào)讀取

.對(duì)應(yīng)SECS/GEM

.對(duì)應(yīng)SEMI E84 OHT取放交握

.SEMI S2認(rèn)證


20240717-698162670.png?


性能規(guī)格

.傳片速度:700 WPH以上

.傳片精度:±0.05mm

.ISO Class 3潔凈度(FS-209E Class 1)


20240717-1524695558.jpg


晶圓外觀檢查設(shè)備(KMM-332)

設(shè)備特色

.晶圓宏觀目視檢查及微觀顯微鏡檢查雙重機(jī)能

.宏觀檢測(cè):手柄控制馬達(dá)驅(qū)動(dòng)翻轉(zhuǎn)機(jī)能,雙面檢查角度>45度,并記錄缺陷位置

.微觀檢測(cè):1000倍顯微鏡檢查,附CCD取像裝置,并記錄缺陷位置

.多重晶圓加載機(jī)制:1站晶圓堆疊盒(Coin Stack Box)/3站前開式出貨盒(FOSB)

.多重檢查流程:依Recipe設(shè)定流程

.內(nèi)置晶圓緩沖站,連續(xù)檢查不塞貨

.雙Robot取放料,傳送速度快


性能規(guī)格

.單片傳送時(shí)間:<30 Seconds

.平臺(tái)定位精度:±2um

.ISO Class 4潔凈度(FS-209E Class 10)


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