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·壓電陶瓷堆疊驅(qū)動 ·無摩擦柔順結(jié)構(gòu)導(dǎo)向 ·亞納米級位置分辨率·內(nèi)置電容傳感器,閉環(huán)控制 ·長行程運動范圍 ·直接位置檢測
·超安靜運動 納米級分辨率 ·全行程運動中,保證通孔·XY一體式組合結(jié)構(gòu)·內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器 ·斷電位置自保持 ·可與高精度壓電掃描臺堆疊組合
超安靜運動 ·納米級分辨率 ·斷電位置自保持 ·并聯(lián)驅(qū)動結(jié)構(gòu) ·內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器 靈活的可定制方案
超安靜運動 納米級分辨率 ·斷電位置自保持·內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器 并聯(lián)驅(qū)動結(jié)構(gòu) 高剛性系統(tǒng)
亞納米級位置分辨率 高速數(shù)據(jù)采集 高速通訊的位置傳感方案
超微小結(jié)構(gòu) ·超安靜運動 ·斷電位置自保持 ·納米級分辨率
超安靜運動 ·納米級分辨率 斷電位置自保持內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器 ·多種行程規(guī)格
·高性能驅(qū)動力 ·大負(fù)載垂直提升閉環(huán)控制,內(nèi)置光柵位置傳感器 ·直驅(qū)傳動無間隙·優(yōu)秀的導(dǎo)向系統(tǒng) 完整運動臺設(shè)計,方便安裝使用