主要特點(diǎn)

• 表征納米材料的*佳解決方案
  TESCAN 專利的 Triglav?型 SEM 鏡筒具有三物鏡系統(tǒng) TriLens? ，與同類設(shè)備相比功能更多樣化。UH-resolution 物鏡提供的超高分辨率非常適合于形貌細(xì)節(jié)觀察，使研究人員能夠更好的分析納米級(jí)樣品。全新的高分辨 Analytical 物鏡可實(shí)現(xiàn)無(wú)漏磁成像，是磁性樣品觀察和分析（EDS, EBSD）的理想選擇。第三個(gè)物鏡可以實(shí)現(xiàn)多種模式觀測(cè)，并對(duì)束斑形狀進(jìn)行優(yōu)化，進(jìn)而改善成像和分析性能。

• 可以獲得不同襯度圖像，最大程度洞察樣品
  TESCAN MAGNA 配備 TriBE? 探測(cè)器系統(tǒng)：包含三個(gè)背散射電子探測(cè)器，可以根據(jù)角度和能量的差異選擇性地收集信號(hào)，Mid-Angle BSE 和 In-Beam f-BSE 探測(cè)器位于鏡筒內(nèi)，可以接收中角度和軸向的背散射電子，而樣品室內(nèi)背散射電子探測(cè)器則用于接收廣角背散射電子。同時(shí)，MAGNA 還配備 TriSE? 探測(cè)器系統(tǒng)：共有三個(gè)二次電子探測(cè)器，可在所有工作模式下以最佳方式獲取二次電子：In-Beam SE 探測(cè)器可以在非常短的工作距離下接收二次電子；SE（BDM）為電子束減速模式下的二次電子探測(cè)器可以提供最佳的分辨率；樣品室內(nèi)的二次電子探測(cè)器則能提供最佳形貌襯度的圖像。

• 更加優(yōu)秀的成像能力
  新一代 Triglav? 鏡筒中的鏡筒內(nèi)探測(cè)器系統(tǒng)經(jīng)過(guò)進(jìn)一步優(yōu)化，信號(hào)檢測(cè)效率提高了三倍以上。此外，該系統(tǒng)還擴(kuò)展了檢測(cè)能力，能夠采集能量過(guò)濾后的軸向背散射電子信號(hào)，這樣就可以通過(guò)選擇性地收集低損耗背散射電子來(lái)獲得更好的襯度和表面靈敏度。

TESCAN MAGNA SEM