| 設(shè)備簡介： 多溫區(qū)CVD系統(tǒng)一體爐，供氣和真空系統(tǒng)靈活組合，滿足各類薄膜沉積，在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用非常廣泛。包括沉積大面積的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。諾巴迪成套的CVD鍍膜系統(tǒng)，適用于各大高校材料實驗室、科研院所、環(huán)保科學(xué)等領(lǐng)域。
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設(shè)備簡介：
| 1.采用高純石英或不銹鋼材質(zhì)爐管，耐腐蝕耐高溫性能優(yōu)越； 2.高純度Al2O3纖維耐火保溫材料，保溫效果優(yōu)越，降低設(shè)備功耗； 3.爐體采用雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu)工藝，自動抬升系統(tǒng)開啟上蓋； 4.NBD-101EP嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機對話模式，實時加熱功率顯示，非線性式樣溫度修正；實驗報告自主生成，實驗數(shù)據(jù)無限次導(dǎo)出。 5.一體化設(shè)備包含多路供氣系統(tǒng)，多溫區(qū)加熱系統(tǒng)和高真空系統(tǒng)； | |||||||||||||||
產(chǎn)品型號 | NBD-O1200-80T5G5 | |||||||||||||||
爐管尺寸 | ?25/?50/?60/?80/?100*1600mm | |||||||||||||||
工作溫度 | ≤1150℃ | |||||||||||||||
加熱區(qū)選擇(可定制） | 200mm*5或300mm*5 | |||||||||||||||
升溫速率 | ≤20℃/min | |||||||||||||||
電氣規(guī)格 | 三相AC380V 10KW | |||||||||||||||
氣體系統(tǒng)（可選購） | 浮子流量計或質(zhì)量流量計 | |||||||||||||||
管道示意圖 |
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進氣接口數(shù)量 | 2、3、4（多路可選） | |||||||||||||||
流量范圍 | 20-250/20-800ml/min......(多量程可選) 50/100/200/500sccm......(多量程可選) | |||||||||||||||
工作壓差范圍 | 0-0.15MPa | |||||||||||||||
低真空系統(tǒng)（可選購） | 真空泵型號 | NBD-3C/NBD-4C | ||||||||||||||
抽氣速率 | 3L/s或4L/s | |||||||||||||||
進排氣口尺寸 | KF16/25 | |||||||||||||||
系統(tǒng)真空 | 3~5Pa（真空泵極限真空6.2*10-2Pa） | |||||||||||||||
工作環(huán)境溫度 | 5-40℃ | |||||||||||||||
電氣規(guī)格 | AC220V | |||||||||||||||
高真空系統(tǒng)（可選購） | 真空泵型號 | NBD-103(A) | ||||||||||||||
抽氣速率 | 110L/s | |||||||||||||||
真空測量計 | 復(fù)合真空計 | |||||||||||||||
系統(tǒng)真空 | 4.310^-3Pa | |||||||||||||||
工作溫度 | 5-40℃ | |||||||||||||||
電氣規(guī)格 | AC 220V | |||||||||||||||
* 支持非標(biāo)定做，更多型號，歡迎來電垂詢 | ||||||||||||||||
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立式八通道管式爐是一種設(shè)計用于同時處理多個樣品或連續(xù)物料的高溫處理設(shè)備，廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、化工、冶金、納米材料制備、陶瓷燒結(jié)、催化研究等領(lǐng)域。 擁有八個平行的加熱管狀腔體通道，可以獨立或同時進行加熱實驗，提高實驗效率和吞吐量，同時也允許進行對比實驗以提高數(shù)據(jù)的可靠性和重復(fù)性。
本設(shè)備提供了在真空或者氣氛環(huán)境下燒結(jié)的環(huán)境，所有操作均在觸摸屏上完成，方便了客戶的操作。本設(shè)備為高溫旋轉(zhuǎn)爐，爐管采用的是新型氮化硅結(jié)合碳化硅制品，具有優(yōu)異的抗氧化性能， 良好的耐磨性能以及對金屬溶液的抗腐蝕性能，是一種新型結(jié)構(gòu)陶瓷材料，為高溫物料的燒結(jié)提供了穩(wěn)定的環(huán)境。
通過高精度氧分析儀確保無氧工作環(huán)境。物料在基于旋轉(zhuǎn)擺振結(jié)構(gòu)的石英腔內(nèi)，能夠在穩(wěn)定均勻的溫場內(nèi)，Z大程度地與反應(yīng)氣體充分接觸。獨有懸掛式氣相發(fā)生器，能夠在工作腔擺振的同時，始終保持水平穩(wěn)定輸出。多路質(zhì)量流量控制器，可精確控制氣體流量。高靈敏度壓力傳感器及電磁閥可保證工作腔室內(nèi)的壓力始終在設(shè)定范圍。易燃易爆及有毒有害氣體檢測儀與設(shè)備聯(lián)動。
NBD-CVD1200系列一體機可以實現(xiàn)真空高溫化學(xué)氣相沉積，適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實驗、真空退火等試驗。
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