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- idonus 專門為MEMS和制表行業(yè)開發(fā)和制造特殊設(shè)備。產(chǎn)品組合包括用于光刻的 UV-LED 曝光系統(tǒng) (UV-EXP)、用于晶片檢測(cè)的紅外顯微鏡 (IR-M) 和用于硅基器件的氣相化學(xué)蝕刻機(jī) (VPE)。
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