在晶圓制造材料的成本拆分中,拋光材料約占晶圓制造總成本的7%。拋光液、拋光墊等作為拋光工藝中的核心消耗品,對(duì)CeO2、SiO2、Al2O3、SiC、c-BN、金剛石等磨料及各類添加劑提出了更高要求。同時(shí),隨著藍(lán)寶石、碳化硅、氮化鎵、金剛石等新一代半導(dǎo)體材料的興起,適用于硬脆材料的高端研磨拋光技術(shù)已成為全球研發(fā)的重點(diǎn)。
奧法美嘉將參展本次技術(shù)交流會(huì)議。
展會(huì)信息
會(huì)議時(shí)間:4月15 -16日
會(huì)議地址:河南 鄭州 天地麗笙大酒店
奧法美嘉展位:C6展臺(tái),期待您的蒞臨。
關(guān)于奧法美嘉
AccuSizer A2000、A7000、A9000液體顆粒計(jì)數(shù)器具有高靈敏度,高分辨率,高達(dá)1024個(gè)數(shù)據(jù)通道等特點(diǎn)。在檢測(cè)液體中的顆粒數(shù)量的同時(shí)精確測(cè)量顆粒的粒度及粒度分析,結(jié)合全新一代軟件的強(qiáng)大分析功能,通過(guò)真實(shí)精細(xì)的分布結(jié)果,廣泛服務(wù)于醫(yī)藥、半導(dǎo)體、精細(xì)化工、光電等領(lǐng)域。
Nicomp 3000系列納米激光粒度儀采用動(dòng)態(tài)光散射原理檢測(cè)分析樣品的粒度分布?;诙嗥绽针娪竟馍⑸湓頇z測(cè)ZETA電位。獨(dú)有的0.9°步進(jìn)型多角度模塊和Nicomp? 多峰分布可分辨體積比1:2的多組分,可為客戶提供精確的納米顆粒粒度表征和粒度分布測(cè)試。
LUMiSizer 是一款穩(wěn)定性分析儀,基于重力沉降法的原理,應(yīng)用LUM(羅姆)的STEP技術(shù)(Space Time resolved Extinction Profiles, 空間時(shí)間消光圖譜法)可快速、簡(jiǎn)單地量化乳液、膠體、懸浮液等液相分散體系的穩(wěn)定性——沉降、上浮、熟化、聚結(jié)等行為,一次可同時(shí)測(cè)定12個(gè)樣品,可以快速判定和量化其穩(wěn)定性和效期。
LUMiSpoc 是一款單顆粒分析系統(tǒng),它采用單粒子光散射技術(shù)(SPLS,Single Particle Light-Scattering),能精準(zhǔn)測(cè)量懸浮液和乳液中納米級(jí)和微米級(jí)顆粒的粒度分布與顆粒濃度(顆粒數(shù)量),可以對(duì)40nm高濃度樣品進(jìn)行計(jì)數(shù)。
會(huì)議議程
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