在國際上，隨著光電子信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，紫外光表面清洗技術(shù)也被提了出來。有機化合物的光敏氧化作用為紫外光清洗技術(shù)所利用，從而使得將黏附在材料表面上的有機物質(zhì)去除的目的達(dá)到，通過光清洗后的材料表面能夠"原子清潔度"。紫外臭氧清洗機為一種小型紫外臭氧清洗設(shè)備,能夠用來對各種單晶基片進(jìn)行清洗，從而使得成膜質(zhì)量變得更好。與此同時，還能夠?qū)⒐饪棠z去除，使材料表面潤濕性得到改善以及對SEM和TEM樣品及紫外活化聚合物等進(jìn)行清洗。一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段被提供，對于一些有機化合物的清除尤為合適。

優(yōu)勢

紫外臭氧清洗機對于掃描探測顯微鏡的樣品應(yīng)用十分廣泛，該設(shè)備能夠用來對原子力顯微鏡探針,掃描探針顯微鏡標(biāo)準(zhǔn)和表面上常規(guī)的油漬層和殘留的無機材料進(jìn)行清洗，同時也可以用來對物體表面的疏水性加以改變，對于部件和表面的化學(xué)改性十分有利，在掃描過程中，通過氧化和硬化處理的探針對探針的幾何形狀的保持十分有幫助，削尖的探針對于側(cè)向分辨率的幫助十分的有利。臭氧清洗機設(shè)備已經(jīng)在納米技術(shù)化學(xué),生物學(xué),光學(xué),電子學(xué),半導(dǎo)體和其他范圍內(nèi)的科學(xué)實驗室得到普遍應(yīng)用。

特性:

1、全面UV保護(hù)使設(shè)備能夠更加安全地進(jìn)行操作。

2、設(shè)備無論是采購的成本還是操作的成本均要更加低廉。

3、定時器可以更加精確地進(jìn)行控制。利用門關(guān)閉來對燈和定時器進(jìn)行觸發(fā)。

4、臭氧排氣護(hù)置:

臭氧護(hù)置安放在生產(chǎn)線或者與過程相關(guān)設(shè)備旁邊被允許。如此會減少材料的再污染。在護(hù)置的后面內(nèi)置一個3英寸排氣出口，能夠和紫外臭氧清洗機的排氣系統(tǒng)相連接，排氣風(fēng)扇沒有被提供。

5、燈泡工作方式為間歇式。通過關(guān)閉門來觸發(fā)燈和定時器

6、耐用以及堅固，結(jié)構(gòu)材質(zhì)全部為不銹鋼。

7、壽命較長。壓石英水銀蒸汽燈將254納米和85納米UV發(fā)射出來，使快速氧化得到促進(jìn)，將微量的有機殘留物去除。