超聲掃描顯微鏡為一種對傳播媒介進(jìn)行利用的無損檢測設(shè)備。在工作中元器件、材料、晶圓等樣品內(nèi)部的分層、空洞、裂縫等缺陷通過反射或者透射等掃描方式來進(jìn)行檢查?？梢詫C(jī)械波和微小樣品的彈性介質(zhì)之間的相互作用精確地反應(yīng)出來，可以對物體特性的差異進(jìn)行利用為其特點。例如：被測物體沒有必要透光；對于生物組織切片或樣品沒有必要染色，能夠及時地進(jìn)行觀察；對于大規(guī)模集成電路，沒有必要對樣品表面進(jìn)行損壞就能夠進(jìn)行內(nèi)層的直接觀察。一種新工具被提供來增進(jìn)對物質(zhì)性質(zhì)的了解。

超聲掃描顯微鏡反射模式

帶壓電陶瓷的微波鏈為超聲顯微鏡反射模式的核心，在射頻信號發(fā)生的激勵下，短的聲脈沖由壓電陶瓷產(chǎn)生，在此之后，聲透鏡聚焦了這些聲脈沖。換能器即為超聲波掃描顯微鏡的這個帶壓電陶瓷的部件的名稱。電信號可以通過換能器被轉(zhuǎn)換成聲波信號，電信號又可以通過從待測樣品反射或透射回來的聲波信號轉(zhuǎn)換而來，送回系統(tǒng)進(jìn)行處理。  

將電磁脈沖轉(zhuǎn)換成聲脈沖為換能器的主要功能，離開換能器以后，聲透鏡利用耦合介質(zhì)（通常是去離子水或無水酒精等）在樣品上聚焦聲波。為了避免超聲波信號快速衰減是耦合介質(zhì)的主要原因，由于在一些稀疏介質(zhì)中傳超聲波信號，因此是會快速衰減。在耦合介質(zhì)中放置樣品，只要在樣品表面或者內(nèi)部聲波信和聲波阻抗介面相遇，就會有反射發(fā)生。

反射信號被換能器接收了以后，會被轉(zhuǎn)換成電脈沖，256級灰度值為超聲波信號轉(zhuǎn)換成電脈沖后的表征。特定的超聲波頻率為每只換能器所具有，能夠針對用戶的需要特別配置。超聲波掃描顯微鏡反射工作模式的基本過程即為此過程。