表面技術(shù)隨著工業(yè)技術(shù)的發(fā)展已經(jīng)在工業(yè)生產(chǎn)的各個(gè)領(lǐng)域得到了非常廣泛的應(yīng)用。從客觀上而言，相應(yīng)的表面檢測(cè)手段也需越來越高的要求，尤其是多層工藝為表面加工過程所采用或者在深度方向成分有濃度梯度存在時(shí)，就好對(duì)檢測(cè)工作有比較大的麻煩。在生產(chǎn)實(shí)踐中，許多企業(yè)僅可以按照經(jīng)驗(yàn)估計(jì)或者理論計(jì)算來控制生產(chǎn)。如果要對(duì)生產(chǎn)或科研有較好的理論指導(dǎo),就必須逐層分析表面。輝光放電光譜儀就可以將這一問題比較wan美地進(jìn)行解決。

結(jié)構(gòu)

輝光放電光源，分光系統(tǒng)以及計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)為輝光放電光譜儀的主要組成構(gòu)件。

工作原理

樣品本身被當(dāng)作陰極在光源上放置，光源內(nèi)抽直空到大約10帕，將氬氣充入，并且使壓力保持在500-1500帕之間。陽極接地，將500-1500V負(fù)高壓加在陰極（樣品）上，擊穿了氬氣，使得穩(wěn)定的等離子體形成。在負(fù)高壓的作用下，遭受電場(chǎng)加速的高能氬離子對(duì)樣品表面進(jìn)行轟擊，使得足夠克服晶格束縛的能量被處在表面的樣品原子獲得。通過原子的形式從樣品的表面濺射出，往等離子體中進(jìn)入。

因?yàn)榈入x子體內(nèi)粒子頻繁碰撞，一定的能量被原子的外層電子所吸收，躍遷到更高的能級(jí),原子處在激發(fā)態(tài)。原子從激發(fā)態(tài)向基態(tài)返回，一定的能量被釋放出，一定波長的光,不同元素的波長(即特征波長)各有差異。不同波長的光往分光系統(tǒng)進(jìn)入通過全息光柵分光以后，通過光電倍增管進(jìn)行檢測(cè)，通過計(jì)算機(jī)對(duì)各單色光光強(qiáng)進(jìn)行信號(hào)處理,使得各元素的強(qiáng)度得以獲得。

各元素的濃度通過計(jì)算機(jī)利用已經(jīng)建立的各元素的標(biāo)準(zhǔn)曲線(濃度和強(qiáng)度的關(guān)系)計(jì)算出。