測量顯微鏡主要使用于電子工業(yè)、五金行業(yè)、以及一些精密工程，在塑膠行業(yè)和YL業(yè)，生物物醫(yī)學、GA系統(tǒng)等等有廣泛的應用，特別是在電子工業(yè)比如觀察電路板的構造，觀察零件直接的精確距離，是不可缺少的精密儀器。

測量顯微鏡的發(fā)展

　　測量顯微鏡，歷史上是以準確的倍率把工件形狀放大以后，通過與模板進行象面比對，進行測量、檢查的顯微鏡。因此，測量顯微鏡與通常的觀察用顯微鏡不同，它采用與輪廓投影儀相同的遠心光路系統(tǒng)，其物鏡倍率也很準確。

　　近年來，使用CCD并輔以必要的測量軟件，測量顯微鏡不僅可以對所攝取的工件視頻圖象進行窗內坐標測量，依靠測量載物臺帶動工件移動，還可以實現(xiàn)超視窗的坐標測量，這已經(jīng)成為它的主流用法。為了適應這種需求，載物臺的行程需要更大，計算機數(shù)據(jù)處理功能也需要更強。

　　另外，隨著測量顯微鏡光學系統(tǒng)制作倍率的更加準確，也可以組合使用具有高倍率觀察、微分干涉觀察、簡易偏光觀察等功能的通用型光學頭。在高倍率觀察時，還可以使用FA(輔助對焦)鏡筒進行高度測量，可以通過縮小視在的景深，提高Z軸方向測量的重復精度。測量顯微鏡配上數(shù)碼相機，還可以拍攝數(shù)碼相片，使得測量顯微鏡的應用越來越廣。

測量顯微鏡的原理

　　測量顯微鏡是應用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用于錄象磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測試。廣泛地適用于計量室、生產(chǎn)作業(yè)線及科學研究等部門。

　　測量顯微鏡工作臺除作X、Y坐標的移動外，還可以作360°的旋轉，亦可以進行高度方向做Z坐標的測量;采用雙筒目鏡觀察。照明系統(tǒng)除作透、反射照明外還可以作斜光線照明。儀器進一步可連接CCD電視攝像頭，作工件的輪廓放大;測量顯微鏡亦可連接計算機進行數(shù)據(jù)處理等測量與STM類似，在AFM中，使用對微弱力非常敏感的彈性懸臂上的針尖對樣品表面作光柵式掃描。當針尖和樣品表面的距離非常接近時，針尖的原子與樣品表面的原子之間存在極微弱的作用力(10^-12~10^-6N)，此時，微懸臂就會發(fā)生微小的彈性形變。針尖與樣品之間與微懸臂的形變之間遵循虎克定律：F=-k×x，其中，k為微懸臂的力常數(shù)。

　　所以，測量顯微鏡要測出微懸臂形變量的大小，就可以獲得針尖與樣品之間作用力的大小。針尖與樣品之間的作用力與距離有強烈的依賴關系，所以在掃描過程中利用反饋回路保持針尖與樣品之間的作用力恒定，即保持為懸臂的形變量不變，針尖就會隨樣品表面的起伏上下移動，記錄針尖上下運動的軌跡即可得到樣品表面形貌的信息。

測量顯微鏡的用途

　　測量顯微鏡的結構簡單、操作方便、適用范圍極廣，采用高象質光學顯微鏡，并具有精密二坐標工作臺，以光柵尺作為長度測量傳感器，具有較高的測量精度和操作效率。測量顯微鏡采用雙目鏡觀察，照明系統(tǒng)除作透、反射照明外還可以作斜光線照明。具有高清晰度、高景深的立體圖像，鏡身變倍靈活舒適，工作平臺寬大舒適，專為工業(yè)應用設計。

　　測量顯微鏡可以測量各種金屬加工件、沖壓件、塑料件的直徑、長度、角度、孔的位置等，用于直角座標中測定長度、轉動度盤測定角度，還可用作觀察顯微鏡，以比較檢查工作表面光潔度，鑒定冶金工業(yè)的礦石標本。

　　1、測量顯微鏡廣泛應用于電子工業(yè)，比如觀察電路板的構造，觀察零件直接的精確距離;

　　2、測量顯微鏡適用于制造業(yè)、精密零件以及不方便移動的物件的觀察測量;

　　3、測量顯微鏡用于生產(chǎn)作業(yè)線。

測量顯微鏡和工具顯微鏡區(qū)別

　　測量顯微鏡和工具顯微鏡原理是相同的，但因為作用不同，差別也很大。

　　測量顯微鏡使用顯微鏡目鏡瞄準，通過分化目鏡和數(shù)顯千分尺讀數(shù)，或者用螺旋測微尺讀數(shù)，精度大概在20-30微米左右，測量精度不高，但成本低廉，方便易用，對于一些小零件的測量還是很方便的。測量方便通常在0-10mm或者0-25mm。

　　工具顯微鏡是用顯微鏡目鏡瞄準或者視頻軟件自動采點;通過精密工作臺移動，光柵尺讀數(shù)，軟件或者數(shù)顯表進行運算，能夠測量復雜的位置度關系;平面測量精度在3-8微米;另外，工具顯微鏡測量目鏡系統(tǒng)可以偏擺，測量螺紋外徑精度更高，工具顯微鏡配有專業(yè)的頂針架，V型支架，旋轉工作臺，能對不同工具進行多種尺寸的測量，配備螺紋輪廓目鏡，圓弧輪廓目鏡，雙像目鏡能對螺紋，圓弧，小孔圓進行高精度比對測量，功能比測量顯微鏡強大很多，是專業(yè)的測量工具。對于計量室而言，這就是專業(yè)測量的shou選工具。