測量顯微鏡是光學計量儀器之一種，是指配有瞄準顯微鏡和坐標工作臺的用于二維坐標尺寸測量的光學計量儀器。測量顯微鏡采用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用于錄象磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測試，是一種理想的多用途的小型精密測量儀器。

測量顯微鏡的功能

　　1、直角坐標中測定長度。

　　2、旋轉度盤測定角度。

　　3、用作觀察顯微鏡。

　　4、利用測量顯微鏡微動載物臺的移動，配全目鏡的十字座標線，作長度量測。

　　5、利用旋轉載物臺與目鏡下端之游標微分角度盤，配全合目鏡之址字座標線，作角度量測，令待測角一端對準十字線與之重合，然再讓另一端也重合。

　　6、利用標準檢測螺紋的節(jié)距、節(jié)徑、外徑、牙角及牙形等尺寸或外形。

　　7、檢驗金相表面的晶粒狀況。

　　8、檢驗工件加工表面的情況。

　　9、檢測微小工件的尺寸或輪廓是否與標準片相符。

測量顯微鏡的使用方法

　　測量顯微鏡的安裝使用：

　　1、測量顯微鏡安裝和使用：

　　應對周圍環(huán)境的安全性進行檢查，電源、電壓、LED光源、接地線等是否正確、牢固，應符和要求。

　　2、測量顯微鏡主要部件運動性能檢查：

　　測量顯微鏡工作臺、縱、橫滑板導軌、測微器、顯微鏡臂架導軌升降，測角度盤轉動等部件，經(jīng)目力觀察和手動試驗，必須確認結構安裝可靠，位置準確，運轉性能應舒適完好，無松動阻滯和急跳現(xiàn)象存在。

　　3、測角目鏡的檢查：

　?、贉y量顯微鏡測角目鏡零位的檢查;

　　②測量顯微鏡測角目鏡十字線交點與其迥轉ZX重合性的檢查。

　　測量顯微鏡的操作方法：

　　1、將被測試樣放在測量工作臺上，盡量放在玻璃ZX位置。?

　　2、轉動測量顯微鏡調焦手輪，至視線清晰為止，用目視判斷Z薄點，旋轉測量工作臺并依靠縱橫向的調節(jié)，把Z薄點方向原始基準調至與十字線相重合，記錄測試標志線所對應的刻度值X1。?

　　3、調節(jié)橫向手柄，測量工作臺沿X線軸向移動，記錄另一側的讀數(shù)X2，X1?與X2之差即為測量值。?

　　4、旋轉測量工作臺，依次測出各點讀數(shù)。

　　5、測量直徑時，可用移動X、Y軸方向分別讀取數(shù)值。

測量顯微鏡的注意事項

　　1、測量顯微鏡的使用、維護是技術性較強的工作，對操作人員應進行專業(yè)技能培訓，掌握必要的操作技能和建立必要的工作檢查制度。

　　2、對測量顯微鏡要注意正確合理安排使用。儀器的存放地點應避免灰塵、潮濕、氣溫突變或含有酸堿性的氣體環(huán)境。

　　3、測量顯微鏡的光學部件有：目鏡、物鏡、玻璃工作臺等，光學零件的表面油污灰塵清潔，可用脫脂棉花蘸以少許酒精和乙 醚混合液，輕輕揩拭，切勿將鏡片擦毛。

　　4、測量顯微鏡維護、保養(yǎng)、調試，未經(jīng)技術培訓不具備專業(yè)技能的人員不要隨意拆卸調試和清洗加油。

　　5、電源系統(tǒng)出現(xiàn)故障，需先切斷電源，再進行檢查。透射照明燈泡需要更換燈泡，拆除底蓋，進行檢查更換。

測量顯微鏡的分類

　　光學測量顯微鏡：

　　光學測量顯微鏡應用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用于錄象磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測試。廣泛地應用于計量室、生產(chǎn)作業(yè)線及科學研究等部門。

　　光學測量顯微鏡主要優(yōu)點：工作臺除作X、Y坐標的移動外，還可以作360°的旋轉，也可以進行高度方向做Z坐標的測量;采用雙筒目鏡觀察。照明系統(tǒng)除作透、反射照明外還可以作斜光線照明。光學測量顯微鏡可連接CCD電視攝像頭，作工件的輪廓放大;亦可連接計算機進行數(shù)據(jù)處理等測量。是一種理想的固定場所小型精密測量儀器。

　　數(shù)碼測量顯微鏡：

　　數(shù)碼測量顯微鏡是近年來比較流行的一種將將顯微鏡看到的實物圖像通過數(shù)模轉換，使其成像在顯微鏡自帶的屏幕上或計算機上的顯微鏡設備。特別適用于制造業(yè)、精密零件以及不方便移動的物件的觀察測量。廣泛地應用于生產(chǎn)作業(yè)線及科學研究等部門。

　　數(shù)碼測量顯微鏡主要優(yōu)點：小巧便攜，只需一臺計算機就可以直觀的觀測微觀放大圖像，進行精確數(shù)據(jù)測量、拍照備份圖片及數(shù)據(jù)資料;還可以根據(jù)客戶需要定制特種光源(熒光、紅外)用于特殊場所觀測。數(shù)碼測量顯微鏡幾年來得到廣泛的普及使用，已成為一種可靠實用的精密測量儀器。