用于分析材料微區(qū)成分元素種類與含量，對掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡的使用加以配合的儀器，稱為x射線能譜儀。

原理

X射線特征波長為各種元素自己所具備，能級躍遷過程中釋放出的特征能量△E則決定了特征波長的大小。x射線能譜儀就是通過不同元素X射線光子特征能量會有差異這一特點來分析成分的。

各種元素具有自己的X射線特征波長，特征波長的大小則取決于能級躍遷過程中釋放出的特征能量△E，能譜儀就是利用不同元素X射線光子特征能量不同這一特點來進行成分分析的。

測試原理

當檢測器有X射線光子進入以后，會有一定數(shù)目的電子空穴對在Si（Li）晶體內(nèi)激發(fā)出。產(chǎn)生一個空穴對的zui低平均能量ε是相同的（在低溫下平均為3.8ev），而通過一個X射線光子激發(fā)出的空穴對的數(shù)目是N=△E/ε，所以空穴對的數(shù)目隨著入射X射線光子的能量zeng高而增多。通過加在晶體兩端的偏壓來對電子空穴對進行收集，經(jīng)過前置放大器轉(zhuǎn)換成電流脈沖，空穴對的數(shù)目大小決定了電流脈沖的高度。主放大器將電流脈沖轉(zhuǎn)換成電壓脈沖，往多道脈沖高度分析器進入，脈沖高度分析器根據(jù)高度將脈沖分類進行計數(shù)，如此，一張X射線根據(jù)能量大小分布的圖譜就能夠被描繪出來。

類型

根據(jù)探頭的位置、數(shù)量配置，x射線能譜儀能夠分為斜插式、平插式、多探頭等。

性能指標

探頭：鋰硅Si(Li)探測器慢慢由新型硅漂移探測器（SDD）所取代。

能量分辨力：121eV為能譜儀所能達到的zui大分辨率、

探測元素范圍：Be4～U92

固體角：信號量的大小由其所決定，此角度越大越好

使用范圍

1、刑偵鑒定、考古和文物鑒定以及金銀飾品、寶石首飾的鑒別等領(lǐng)域。

2、在材料表面做元素的面、線、點分布分析，定性和定量分析材料表面微區(qū)的成分。

3、分析高分子、陶瓷、混凝土、生物、礦物、纖維等無機或有機固體材料。

4、鑒定夾雜物形態(tài)成分，以及分析金屬材料的相和成分。

5、能夠分析固體材料的表面涂層、鍍層，比如：檢測金屬化膜表面鍍層。