用于分析材料微區(qū)成分元素種類(lèi)與含量，對(duì)掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡的使用加以配合的儀器，稱為x射線能譜儀。

x射線能譜分析的基本原理

ⅹ射線能譜儀是掃描電鏡的附件,它的原理是通過(guò)電子光學(xué)系統(tǒng)中的兩級(jí)電磁透鏡將電子槍發(fā)射的髙能電子聚焦成很細(xì)的電子束來(lái)對(duì)樣品室中的樣品進(jìn)行激發(fā)，從而使陰極熒光、X射線、透射電子、吸收電子、俄歇電子、二次電子以及背散射電子等多種信息(電子束與樣品的相互作用所產(chǎn)生的各種信息)產(chǎn)生。如果Si(Ii)探測(cè)器接收X射線光子以后將電脈沖訊號(hào)給出，因?yàn)棰渚€光子能量差異(對(duì)某一元素能量為一不變量)，通過(guò)放大整形后往多道脈沖分析器中送入，通過(guò)顯象管就能夠?qū)Ω鶕?jù)特征ⅹ射線能量展開(kāi)的圖譜進(jìn)行觀察。一定元素由一定能量的圖譜加以表示樣品中元素的含量(量子的數(shù)目)由圖譜上峰的高低反映。此即為ⅹ射線能譜儀的基本原理。

德國(guó)布魯克  TEM QUANTAX EDS（點(diǎn)擊圖片查看產(chǎn)品詳情）

X射線能譜儀的結(jié)構(gòu)

多道脈沖分析器、前置放大器以及半導(dǎo)體探測(cè)器共同組成了能譜儀。元素的分析是利用X射線光子的能量來(lái)進(jìn)行的。鋰漂移硅Si(Ii)探測(cè)器接收X射線光子以后將電脈沖信號(hào)給出。ⅹ射線光子的能量發(fā)生變化，該信號(hào)的幅度也會(huì)隨之而發(fā)生改變。脈沖信號(hào)再經(jīng)放大器放大整形后,往多道脈沖高度分析器送入,然后按照ⅹ射線光子的能量和強(qiáng)度來(lái)將樣品的種類(lèi)和高度區(qū)分出來(lái)。

路徑

Si（Li）探測(cè)器→放大器→多道脈沖高度分析→計(jì)算機(jī)系統(tǒng)

應(yīng)用

固體表面分析

zui外層的1至10個(gè)原子層，被稱為固體表面，其厚度為0.1-1納米左右，人們?cè)缫阎獣?，有一個(gè)與團(tuán)體內(nèi)部的組成和性質(zhì)不同的相存在于固體表面、表面的元素組成和化學(xué)組成,表面原子的電子云分布和能級(jí)結(jié)構(gòu)的測(cè)定以及原子價(jià)態(tài),表面能態(tài)分布的分析等也包含于表面研究。