用于分析材料微區(qū)成分元素種類與含量，對掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡的使用加以配合的儀器，稱為x射線能譜儀。

X射線能譜儀的簡介

射線光電子能譜(XPS)又被叫做化學(xué)分析用電子能譜(ESCA)。在六十年代，由瑞典科學(xué)家 Kai siegbahn教授將該方法發(fā)展起來。因為在光電子能譜的理論和技術(shù)上的重大貢獻，1981年, KaiSiegbahn獲得了諾貝爾物理獎。在這三十多年以來，不管是在理論上還是在實驗技術(shù)上，X射線光電子能譜的發(fā)展都越來越好。剛開始，XPS僅僅用于化學(xué)元素的定性分析,，如今已經(jīng)發(fā)展成為了表面元素定性、半定量分析及元素化學(xué)價態(tài)分析的重要手段。XPS的研究領(lǐng)域也不再局限于傳統(tǒng)的化學(xué)分析,而擴展到現(xiàn)代迅猛發(fā)展的材料學(xué)科。如今，在日常表面分析工作中，該分析方法的份額已經(jīng)占到了一半左右，已經(jīng)為一種zui主要的表面分析工具。

應(yīng)用：

元素定性分析

元素周期表中的任何一種元素均擁有自己獨有的原子結(jié)構(gòu),不同于其他元素，正是由于這種結(jié)構(gòu)的差異，使得每種元素均有自己的特征能譜圖,因此，對一條或幾條電子線在圖譜中的位置進行測定，就能夠?qū)悠凤@示的譜線屬于哪種元素非常容易地識別出來。因為每種元素均有自己的特定的電子線,就算是相鄰的元素，也不可能有誤判出現(xiàn)，所以用這種方法進行定性分析的準確度是相當高的。通過對樣品進行全掃描,能夠在一次測定中就能夠?qū)⑷炕虼蟛糠衷貦z測出來。

作為分析工具，ⅹ射線能譜zui為常用。在表面吸附、催化、金屬的氧化和腐蝕、半導(dǎo)體、電極鈍化、薄膜材料等方面均有應(yīng)用。