離子減薄儀為一種在材料科學(xué)領(lǐng)域普遍應(yīng)用的儀器。離子減薄儀有著較快的制樣速度?？梢砸詚ui小的耗費(fèi)將高質(zhì)量的TEM樣品制備出來。該儀器可以快捷方便地進(jìn)行操作，低能量離子槍功能為其所配備，對能量敏感性樣品的減薄特別適合。液氮冷臺為其所配備，對溫度敏感性樣品的減薄特別適合。陶瓷、半導(dǎo)體、金屬和合金等多種材料的透射電子顯微鏡（ TEM）樣品的制備為該儀器的主要用途。

離子減薄儀注意事項(xiàng)

日常關(guān)機(jī)

平常結(jié)束使用之后沒有必要關(guān)機(jī)

停電關(guān)機(jī)

1、對氬氣鋼瓶關(guān)緊與否進(jìn)行確認(rèn)。

2、將總電源關(guān)掉。

復(fù)電開機(jī)

1、將氬氣鋼瓶打開

2、將總電源打開

3、對離子槍進(jìn)行吹掃，從而將離子槍表面水氣去除，防止由于空氣污染導(dǎo)致離子槍不穩(wěn)定，當(dāng)室內(nèi)壓力比5-3e帕要低時，將兩個氣閥開關(guān)打開，凈化15分鐘，當(dāng)離子槍束流值在在5KeV，比8μA低時能夠停止。

4、必須要等到真空度達(dá)到5-4e帕才能夠進(jìn)行正常的工作。

5、當(dāng)將離子槍拆下又重新裝回需要對離子槍束流和離子束位置進(jìn)行調(diào)整

離子減薄儀技術(shù)指標(biāo)

1、樣品臺傾斜范圍：-120到210度，精度為0.1度

2、SEM平面研磨臺：zui大φ25毫米×12毫米，TEM和FIB樣品臺：φ3毫米。

3、能夠設(shè)定終止加工透光量閾值來使遠(yuǎn)程控制得以實(shí)現(xiàn)。

4、冷凍系統(tǒng)使制樣過程溫度不超過25攝氏度得到保證。

5、獨(dú)立雙氬離子源，能夠傾斜±45度。

6、10度范圍內(nèi)小角度減薄單面和雙面，能夠使大面積離子拋光或減薄得以實(shí)現(xiàn)。

7、粒子能量：800伏-10千伏可調(diào)，補(bǔ)償0.1千伏，離子束流：zui高4.5毫安。