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激光濺射沉積系統(tǒng)

儀器網(wǎng)>知識百科>激光濺射沉積系統(tǒng) 更新時間:2026-04-14 10:55:51

激光濺射沉積系統(tǒng)百科

導讀
激光濺射沉積系統(tǒng)利用高能脈沖激光束轟擊靶材,使其形成等離子體并在基底上沉積形成薄膜,廣泛應(yīng)用于半導體、材料科學等領(lǐng)域。
目錄
1原理知識 2結(jié)構(gòu)參數(shù) 3行業(yè)標準 4功能作用 5教程說明 6維修保養(yǎng) 7操作使用 8注意事項

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1. 易獲得期望化學計量比的多組分薄膜,即具有良好的保成分性; 2. 沉積速率高,試驗周期短,襯底溫度要求低,制備的薄膜均勻; 3. 工藝參數(shù)任意調(diào)節(jié),對靶材的種類沒有限制; 4. 發(fā)展?jié)摿薮?,具有極大的兼容性; 5. 便于清潔處理,可以制備多種薄膜材料。

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1. 易獲得期望化學計量比的多組分薄膜,即具有良好的保成分性; 2. 沉積速率高,試驗周期短,襯底溫度要求低,制備的薄膜均勻; 3. 工藝參數(shù)任意調(diào)節(jié),對靶材的種類沒有限制; 4. 發(fā)展?jié)摿薮螅哂袠O大的兼容性; 5. 便于清潔處理,可以制備多種薄膜材料。

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1. 易獲得期望化學計量比的多組分薄膜,即具有良好的保成分性; 2. 沉積速率高,試驗周期短,襯底溫度要求低,制備的薄膜均勻; 3. 工藝參數(shù)任意調(diào)節(jié),對靶材的種類沒有限制; 4. 發(fā)展?jié)摿薮?,具有極大的兼容性; 5. 便于清潔處理,可以制備多種薄膜材料。

脈沖激光沉積 NPD-4000(M)PLD脈沖激光沉積系統(tǒng) 那諾-馬斯特

1. 易獲得期望化學計量比的多組分薄膜,即具有良好的保成分性; 2. 沉積速率高,試驗周期短,襯底溫度要求低,制備的薄膜均勻; 3. 工藝參數(shù)任意調(diào)節(jié),對靶材的種類沒有限制; 4. 發(fā)展?jié)摿薮螅哂袠O大的兼容性; 5. 便于清潔處理,可以制備多種薄膜材料。

脈沖激光沉積系統(tǒng)

脈沖激光沉積系統(tǒng)

PLD是將脈沖激光透過合成石英窗導入真空腔內(nèi)照射到成膜靶上,靶被照射后吸收高密度能量而形成的plume狀等離子體狀態(tài),然后被堆積到設(shè)在對面的基板上而成膜。

美國 NBM PLD脈沖激光沉積系統(tǒng)

脈沖激光沉積系統(tǒng)-PLD 型號:AP-PLD230 脈沖激光沉積系統(tǒng)(PLD)是將脈沖激光導入真空腔內(nèi)照射到成膜靶上,靶被照射后吸收高密度能量而形成的plume狀等離子體狀態(tài),然后被堆積到設(shè)在對面的基板上而成膜。PLD方法可以獲得擁有熱力學理論上準穩(wěn)定狀態(tài)的組成和構(gòu)造的人工合成薄膜材料。 我們PLD系統(tǒng)擁有Z好的性能價比, 用戶用Z少的錢買到研究級高性能的純進口PLD系統(tǒng)。

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