国产三级在线看完整版-内射白嫩大屁股在线播放91-欧美精品国产精品综合-国产精品视频网站一区-一二三四在线观看视频韩国-国产不卡国产不卡国产精品不卡-日本岛国一区二区三区四区-成年人免费在线看片网站-熟女少妇一区二区三区四区

儀器網(yiqi.com)歡迎您!

| 注冊2 登錄
網站首頁-資訊-話題-產品-評測-品牌庫-供應商-展會-招標-采購-知識-技術-社區(qū)-資料-方案-產品庫-視頻

資料庫

儀器網> 資料庫>鍍膜儀簡介

鍍膜儀簡介

本文由 上??茖W儀器有限公司 整理匯編

2018-09-20 10:00 1645閱讀次數(shù)

掃    碼    分   享
文檔僅可預覽首頁內容,請下載后查看全文信息!
立即下載
EMS150T的機殼是整體成型的,結構堅固耐用,配有氣冷的70L/S的渦輪分子泵,自動進氣控制保證了濺射期間**的真空水平,真空腔室直徑為165mm并帶有防爆裝置。EMS150T具有“真空閉鎖”功能,可在設備不工作時維持腔室的真空度,從而保證高真空的性能。EMS150T系列全自動高真空離子濺射/熱蒸發(fā)一體化鍍膜儀給用戶以類似傻瓜相機的簡單操作、ding級的鍍膜質量和對熟手/新手都很理想的用戶界面,讓用戶真正領略至臻wan美的鍍膜品質!根據(jù)不同的應用方向,EMS150T細分為三個型號:EMS150TS:高分辨率濺射鍍膜儀HighResolutionTurbomolecularPumpedSputterCoater,可濺射易氧化和不易氧化金屬,可選各種濺射靶材,包括場發(fā)射電鏡常用的銥和。EMS150TE:高真空鍍碳儀,可制作高穩(wěn)定的碳膜和表面覆形膜,是TEM應用Z理想的選擇。EMS150TES:集合了離子濺射和熱蒸鍍兩種真空沉積鍍膜方式,鍍膜頭可在幾秒內快速更換,只能邏輯系統(tǒng)自動識別所裝的鍍膜頭類型,并顯示相應的操作模式。注:上述各型號都可配備如下可選的附件:金屬蒸鍍、碳絲蒸鍍、膜厚測量等觸摸屏控制:EMS150T操作十分簡單,直觀的觸摸屏,即使Z不熟練的操作者也可以自由操作,同時可方便的鍵入和存儲數(shù)據(jù)。為了方便使用,設備中已經預存一些了典型的濺射和蒸發(fā)鍍膜參數(shù)資料。鍍膜插入頭選項:具有一系列可互換、即插即用的鍍膜插入頭濺射插入頭適用于易氧化和不易氧化金屬材料,直徑57mmX0.3mm厚靶為標準靶材可用另外的濺射插入頭來快速更換鍍膜材料(僅為TS和TES型號)適用于3.05mm碳棒蒸發(fā)插入頭適用于6.15mm碳棒蒸發(fā)頭,建議使用3.05mm直徑的碳棒,它們更容易控制、更經濟碳絲蒸發(fā)插入頭金屬蒸發(fā)和光闌潔凈頭,包括向上蒸發(fā)或向下蒸發(fā)(僅為TE和TES型號)樣品臺選項EMS150T具有各種易更換的樣品臺,drop-in落入式設計具高度可調(除旋轉行星臺)。標準配置為旋轉臺,直徑為50mm可預設傾斜角度的旋轉臺(可選)可變角度旋轉行星臺(可選)可用于4晶圓的平面旋轉臺(可選)顯微鏡載玻片樣品臺(可選)其它選項用于高樣品的加高腔室膜厚監(jiān)測器(FTM)用于測量低和高真空的全范圍真空計特點和優(yōu)點:金屬濺射或碳蒸發(fā)或兩者兼?zhèn)洌阂惑w化設計,節(jié)約空間精細顆粒濺射:高分辨率場發(fā)射掃描電鏡(FE-SEM)制樣的精細鍍膜應用渦輪分子泵高真空系統(tǒng):允許不氧化貴金屬和易氧化其它金屬靶材的濺射鍍膜,大大拓寬了可濺射靶材范圍,既適合普通SEM、高分辨率FE-SEM鍍膜制樣應用,也為許多薄膜應用等材料科研領域提供理想的鍍膜平臺全自動觸摸屏控制:快速數(shù)據(jù)輸入,簡單操作可儲存多個客戶自定義鍍膜方案:對多用戶實驗室十分理想與鍍膜過程和鍍膜材料相匹配的預編程自動真空控制精細的厚度控制:使用膜厚監(jiān)控選項“智能”式系統(tǒng)識別:自動感知用戶所裝的插入式鍍膜頭的類型高真空碳蒸鍍:對SEM和TEM鍍碳膜應用非常理想蒸發(fā)電流波形控制Drop-in落入式快換樣品臺(標配旋轉臺)真空閉鎖功能:可讓工作腔室處于真空狀態(tài),改善后續(xù)真空效果,或在真空條件下保存樣品鍍制厚膜能力:一次真空條件下的濺射時間可長達60分鐘(材料科研領域的應用)人體工程學設計的整體成型機殼:易維護和易拆裝帶有本地FTP服務器連接的以太網端口:簡單的程序更新設有功率因素補償,有效利用電能,降低運行成本符合當前電器法規(guī)(CE認證)EMS150T儀器參數(shù):儀器尺寸585mm寬*470mm*410mm高(總高650mm)重量33.4KG工作腔室150mm(內徑)*127mm(高)硼硅酸鹽玻璃腔室,并帶整體安全防護罩觸摸屏用戶界面帶有觸摸按鈕的全圖像界面,包含多達十個鍍膜程序,可提醒何時需要維護工作腔室150mm(內徑)*127mm(高)硼硅酸鹽玻璃腔室,并帶整體安全防護罩樣品臺轉速為8-20rpm的旋轉臺真空系統(tǒng)渦輪子分子泵:帶有內部空氣卻的渦輪分子泵,抽速為70L/s旋轉機械泵:抽速為50L/m的兩級旋轉機械泵,帶有油污過濾器真空測量皮拉尼真空計作為標配極限真空度10-5mbar兩級電源需求90-250V~50/60Hz1400VA(包括旋轉機械泵電壓240V)氣體濺射工作氣體氬氣,99.999%(TS和TES版本);氮氣,放氣破真空氣體(可選)金屬蒸發(fā)和光闌清潔頭用于源自鎢絲籃或舟的金屬熱蒸發(fā)。可配備一個標準鉬舟用于清潔SEM或TEM光闌碳蒸發(fā)穩(wěn)定的無紋波直流電源控制的脈沖蒸發(fā),確保源自碳棒或碳絲的可重復蒸碳電流脈沖1-90安培濺射0-150mA??深A設膜厚(需FTM選項)或使用內置定時器濺射工作真空范圍5*10-3到5*10-1mbar濺射靶材和碳耗材供應EMS150TS和EMS150TES標配鉻靶,但可選用的其它靶材范圍很寬,包括那些廣泛用于SEM制樣的靶材,如:Au金靶,Au/pd金鈀,Pt鉑靶,和Iridium銥靶。對非SEM應用,可選用的靶材包括:AI鋁,Ta鉭,ITO氧化銦錫,F(xiàn)e鐵,W鎢,Ti鈦,等等:碳制品包括高純度碳EMS150T與Q150T都是英國Quorum公司生產,屬于同一產品,以兩個品牌模式銷售,所以兩個品牌的產品是完全一樣的。EMS150TZG總代海德創(chuàng)業(yè)(北京)生物科技有限公司北京回龍觀西大街115號龍冠大廈4層010-5124812052571502www.hedebio.comhedebio@163.com

參與評論

全部評論(0條)

更多資料

該會員其他資料
武器裝備使用進口電子元器件管理辦法實施細則
TENSOR II 傅立葉變換紅外光譜儀產品樣冊
TLTP高壓取能裝置
吖啶紅3B熒光熄滅法測定痕量亞硝酸根
垂柳葉黃酮的微波提取工藝
常用的數(shù)理統(tǒng)計術語介紹
藥物納米混懸劑譜寫納米釋藥系統(tǒng)燦爛前景
海洋監(jiān)測規(guī)范—數(shù)據(jù)處理與分析質量控制
化工產品和產品詞匯
戶外鋼結構廣告設施安全檢測及評定

在線留言

換一張?
取消