本文由 北京普瑞賽司儀器有限公司 整理匯編

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  表面清潔度分析儀AutomaticFlatPanelCleannessAnalyzer/WaterDropAngleMeterModelLCD1000A/LCD1000MLCD系列表面清潔分析儀為美國科諾研制的行業(yè)性分析儀器，可在分析測試水滴在液晶屏、晶圓（Wafer）、芯片或PCB板表面的形成的角度值的基礎(chǔ)上，進(jìn)而分析Plasma效果，是一種基于界面化學(xué)分析系統(tǒng)的表面清潔度測試系統(tǒng)。本系列表面清潔度分析儀由儀器主機和CAST2.0水滴角分析軟件兩個部分組成。根據(jù)樣品臺移動方式不同，我們將儀器主機分為自動（LCD1000A）、手動（LCD1000M）兩種。樣品臺尺寸及其控制行程可根據(jù)客戶要求定制。我們?yōu)閺V大客戶提供性能**，價格Z合理的儀器以及Z專業(yè)化的表面清潔度分析儀產(chǎn)品，期盼為客戶的研發(fā)與品質(zhì)控制提供Z專業(yè)的服務(wù)保證。一、產(chǎn)品優(yōu)勢：1、人性化的設(shè)計，操作簡單；→選購自動注射泵，可完成自動進(jìn)液控制，精度可達(dá)0.02uL→自動修正鏡頭傾斜角度以及水平線傾斜角度→按測試，軟件自動完成拍照、分析敏感點、計算角度值2、全區(qū)域測試，可支持各種規(guī)格面板→480*480（LCD-400S）→750*750（LCD-700S）→900*700（LCD900S）→1400*1400（FPD）3、數(shù)據(jù)庫管理技術(shù)→歷史數(shù)據(jù)可查詢→可導(dǎo)出為EXCEL文檔及BMP圖片→可錄相AVI格式，供制作PPT所用4、CAST2.0具有多項領(lǐng)xian技術(shù)→多達(dá)6種以上接觸角計算辦法→多達(dá)12種固體表面自由能估算模型→支持曲面校準(zhǔn)技術(shù)→支持粘附功計算、WBA分析等二、功能實現(xiàn)：1、測試前：（1）通過調(diào)整進(jìn)樣器前后、左右、上下移動（XYZ）及鏡頭俯仰角度和升降（Z向），實現(xiàn)調(diào)整焦距的目的。（2）通過控制導(dǎo)軌前后、左右移動（XY），將注射泵移動至角落后，以方便裝樣。2、測試過程中：（1）通過導(dǎo)軌前后、左右方向（XY）的移動控制，實現(xiàn)樣品上不同點的水滴角度值的測試；（2）通過移動進(jìn)樣器升降移動（Z向），完成液滴移液過程（將水液滴轉(zhuǎn)移到液晶屏上）；（3）通過進(jìn)樣器注出液滴，進(jìn)行角度分析，精度可達(dá)0.02uL。3、測試實現(xiàn)方法：（1）通過相機捕捉液滴在液晶屏上的圖片后，分析敏感點，計算得出角度值；（2）計算辦法：θ/2法（WH法）或圓擬合法；（3）軟件對鏡頭的俯視角度進(jìn)行適當(dāng)?shù)男拚云趯崿F(xiàn)更極ng確的測量。三、技術(shù)參數(shù)：軟件分析基于CAST2.0分析系統(tǒng)　　　　LCD1000ALCD1000M相關(guān)型號主題詞全自動型手動型主機主機概述自動控制樣品臺手動控制樣品臺鏡頭水平X移動自動：600mm或更大行程精度：0.01mm手動：600mm或更大行程精度：0.1mm帶手柄鏡頭水平Y(jié)移動自動：600mm或更大行程精度：0.01mm手動：600mm或更大行程精度：0.1mm帶手柄鏡頭上下Z1移動自動：25mm精度：0.01mm手動：25mm精度：0.01mm鏡頭傾斜調(diào)整手動手動樣品臺水平手動微調(diào)手動微調(diào)進(jìn)樣器控制XY手動12.5mm0.01mm精度手動12.5mm0.01mm精度進(jìn)樣器控制Z自動25mm0.01mm精度手動25mm0.01mm精度整機升降控制Z2自動25mm0.01mm精度手動25mm0.01mm精度水平調(diào)整手動微調(diào)控制樣品臺水平樣品臺600*600mm或更大進(jìn)樣器自動進(jìn)樣注射泵手動進(jìn)樣注射泵進(jìn)樣器焦距調(diào)整：手動光學(xué)CCD成像系統(tǒng)USB口視頻捕捉設(shè)備+25幀/秒工業(yè)黑白CCD相機+10-50倍連續(xù)放大工業(yè)鏡頭光學(xué)系統(tǒng)調(diào)整一維水平角度調(diào)整機構(gòu)光源系統(tǒng)可調(diào)亮度單色冷光LED光源，水滴角圖像邊緣更清晰通訊接口主機控制及視頻系統(tǒng)控制均采用USB2.0通訊接口，兼容性更好、速度更快軟件系統(tǒng)水滴角計算方式全自動計算按“測試”，軟件自動完成拍照、分析敏感點、計算水滴角值三個動作水滴角計算辦法共6種：du家提供θ/2法、真實液滴法、圓擬合法、橢圓擬合法、曲線尺法，全面適用于分析動/靜態(tài)水滴角值液滴形態(tài)5種分析液滴形態(tài)：停滴（2、3態(tài)）、懸滴、氣泡虜獲法以及插板法，多種液滴形態(tài)均可適用隨時間變化水滴角測試25幀/秒隨時間變化水滴角測試，提供軟件觸發(fā)技術(shù)動態(tài)水滴角分析前進(jìn)角/后退角分析表面自由能估算du家提供如EquationofState（Neumannetal.）、Good-Girifalco、Owen-Wendt-Rabel、SimpleFowkes、ExtendedFowkes、WU法1-2、Schultz法1-2、Acid-base（VanOSS&Good）、Jhu、Zizman臨界表面張力法等共12種表面自由能估算方法，不但能分析低能固體表面，也能分析高能固體表面，以及他們的分布（色散力、極性力、氫鍵值、路易斯酸堿等）。粘附功計算軟件自動分析ü自動曲面修正：上凸曲面、下凹曲面、表面粗糙度修正；ü自動水滴角值計算（θ/2法）和人工計算水滴角值法切換ü左右水滴角值計算與比較，平均水滴角計算ü水平及俯仰角度，任意角度值修正功能ü自動生成曲線圖ü強大的數(shù)據(jù)庫管理功能：備份、壓縮、導(dǎo)出EXCEL表格ü自動液滴量估算美國科諾工業(yè)有限公司特別聲明：1、以上圖片資料以及技術(shù)參數(shù)因設(shè)計而進(jìn)行的更改，不再另行通知，以Zxin確認(rèn)的產(chǎn)品資料為準(zhǔn)。　　　　　2、如需詳細(xì)水滴角分析技術(shù)的資料和水滴角測試標(biāo)準(zhǔn)，請聯(lián)系我們的技術(shù)工程師。3、詳細(xì)報價根據(jù)采購方案另行報價。4、如需要特殊尺寸樣品或特殊需求，我們可定制產(chǎn)品，但需要你支付定金。5、如上樣本冊文本資料、技術(shù)設(shè)計方案以及技術(shù)指標(biāo)描述等版權(quán)歸本公司所有。任何單位未經(jīng)本公司許可，不得自行傳播或復(fù)制。本公司保留一切權(quán)利。[詳細(xì)]

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