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三維光學(xué)輪廓儀在光學(xué)領(lǐng)域的解決方案

本文由 冠乾科技(上海)有限公司 整理匯編

2021-04-25 11:25 2271閱讀次數(shù)

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光學(xué)元件在各個(gè)領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用,對(duì)光學(xué)元件的表面加工精度提出越來越高的要求。如何檢測(cè)光學(xué)元件的加工精度,從而用于優(yōu)化加工方法,保證ZZ元器件的性能指標(biāo),是光學(xué)元件加工領(lǐng)域的關(guān)鍵問題之一。
光學(xué)元件的加工精度包括表面質(zhì)量和面型精度,這些參數(shù)會(huì)影響其對(duì)光信號(hào)的傳播,進(jìn)而影響ZZ器件的性能。此外,各種新型光學(xué)元件也需要檢測(cè)其表面輪廓,比如非球面,衍射光學(xué)元件,微透鏡陣列等。除了ZZ光學(xué)元件的加工精度以外,各種光學(xué)元件加工工藝也需要檢測(cè)中間過程的三維形貌以保證ZZ產(chǎn)品的精度,包括注塑、模壓的模具,光學(xué)圖案轉(zhuǎn)印時(shí)的掩膜版,刻蝕過程的圖案深度、寬度等。

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