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FS4000系列氣體質(zhì)量流量傳感器說明書

本文由 上??茖W(xué)儀器有限公司 整理匯編

2018-11-16 10:00 1413閱讀次數(shù)

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siargoltdFS4000系列微型氣體質(zhì)量流量計是采用微機電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感器技術(shù)和智能電子控制技術(shù),專為普通氣體流量監(jiān)測開發(fā)的產(chǎn)品。該傳感器能直接測量氣體質(zhì)量流量,低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監(jiān)控,還可用于環(huán)境采樣器(如色譜分析儀器等)siargoltdFS4003流量傳感器,管道內(nèi)徑為3mm,成本低測量范圍Zda到5SLPM;適用于粒子計數(shù)器和各類分析儀器。siargoltdFS4008流量傳感器,管道內(nèi)徑為8mm,測量范圍Zda到50SLPM;可用于麻醉設(shè)備、潔凈氣體檢測,如:空氣采樣機,氣體分析儀等產(chǎn)品特點:-專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設(shè)計-支持多種連接方式,易于安裝與使用-傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無需溫度壓力補償,保證了傳感器的高精度計量-在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成,使其量程比達到了100:1甚至更高-輸出方式靈活,既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)或由上位機查詢輸出數(shù)據(jù),也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓-零點穩(wěn)定度高-全量程高穩(wěn)定性、高極ng確度和優(yōu)良的重復(fù)性-低功耗、低壓損-響應(yīng)速度快機械尺寸:性能參數(shù)FS4003FS4008單位通徑38mmZda流量2,3,4,510,20,30,40,50SLPM量程比>100:1精度±(1.5+0.2FS)%重復(fù)性0.5%零點輸出飄移±30mV輸出飄移0.12%/oC響應(yīng)時間10(默認、20、50、100、200、500、1000可設(shè)置)ms工作電源8~24Vdc,50mA輸出方式線性,RS232/模擬電壓0.5~4.5VdcZda流量壓損100600paZda工作壓力0.5MPa工作溫度-10~+55oC存儲溫度-20~+65oC工作濕度<95%RH(無結(jié)冰、無凝露)機械接口BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭校準(zhǔn)方式空氣(或其他氣體),20oC,101.325kPa重量52(帶R1/4,BSPT1/4接口)71(帶4mm,8mm快速接口,68(帶6mm快速接頭)g

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