本文由 杭州譜鐳光電技術(shù)有限公司 整理匯編

2024-09-14 18:53 866閱讀次數(shù)

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  C10178型光學納米膜厚測量系統(tǒng)是一款利用光譜干涉法測量薄膜厚度的非接觸式測量系統(tǒng)。光譜干涉法可以快速、高精度以及高靈敏度地測量出薄膜厚度。C13027使用多通道光譜儀PMA作為檢測器，測量各種光學濾光片和涂膜厚度的同時還可以測量量子產(chǎn)率，反射率，透射/吸收率等參數(shù)。 C10178-03J支持NIR（900 nm至1650 nm）。 [詳細]

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  C10178型光學納米膜厚測量系統(tǒng)是一款利用光譜干涉法測量薄膜厚度的非接觸式測量系統(tǒng)。光譜干涉法可以快速、高精度以及高靈敏度地測量出薄膜厚度。濱松的產(chǎn)品使用多通道光譜儀PMA作為檢測器，測量各種光學濾光片和涂膜厚度的同時還可以測量量子產(chǎn)率，反射率，透射/吸收率等參數(shù)。 C10178-02支持UV（200 nm至950 nm）。 [詳細]

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• 光學NanoGauge C13027-12產(chǎn)品樣冊

  C13027型光學納米膜厚測量系統(tǒng)是一款利用光譜干涉法測量薄膜厚度的非接觸式測量系統(tǒng)。C13207不僅支持PLC連接，而且其設(shè)計尺寸比其他型號更緊湊，便于設(shè)備安裝。Optical Gauge系列不僅能夠測量10納米以下極薄薄膜的厚度，而且還具有超寬測量范圍，可以覆蓋從10納米到100微米的各種薄膜厚度。 Optical Gauge系列可以進行高達200 Hz的快速測量，因此非常適合高速生產(chǎn)線測量。 [詳細]

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• 光學NanoGauge C12562-04產(chǎn)品樣冊

  C12562型光學納米膜厚測量系統(tǒng)是一款小型緊湊、節(jié)省空間、安裝方便的非接觸式薄膜厚測量系統(tǒng)。在半導體工業(yè)中，硅通孔技術(shù)的普及使得硅厚度測量變得必不可少；在薄膜生產(chǎn)工業(yè)中，越來越高的產(chǎn)品需求使得粘合層薄膜的制作朝著越來越薄的方向發(fā)展。因此，這些工業(yè)領(lǐng)域需要更高精度、測量范圍可以覆蓋1μm到300μm的厚度測量系統(tǒng)。C12562可以對厚度范圍從0.5μm到300μm的薄膜進行極ng確測量，包括薄膜鍍層厚度和薄膜襯底厚度以及總厚度。C12562可以進行高達100 Hz的快速測量，因此非常適合高速生產(chǎn)線測量。 [詳細]

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