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極紫外光刻材料研究進(jìn)展
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本文由 上海科學(xué)儀器有限公司 整理匯編
2018-06-21 16:14 848閱讀次數(shù)
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極紫外光刻是微電子領(lǐng)域有望用于下一代線(xiàn)寬為22nm 及以下節(jié)點(diǎn)的商用投影光刻技術(shù),光刻材料的性能與工藝是其關(guān)鍵技術(shù)之一。為我國(guó)開(kāi)展極紫外光刻材料研究提供參考,綜述了Z近幾年來(lái)文獻(xiàn)報(bào)道的研究成果,介紹了極紫外光刻技術(shù)發(fā)展歷程、現(xiàn)狀、光刻特點(diǎn)及對(duì)光刻材料的基本要求,總結(jié)了極紫外光刻材料的研究領(lǐng)域和具體分類(lèi),著重闡述了主要光刻材料的組成、光刻原理,光刻性能所達(dá)到的水平和存在的主要問(wèn)題,Z后探討了極紫外光刻材料未來(lái)的主要研究方向。
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極紫外光刻材料研究進(jìn)展
- 極紫外光刻是微電子領(lǐng)域有望用于下一代線(xiàn)寬為22nm 及以下節(jié)點(diǎn)的商用投影光刻技術(shù),光刻材料的性能與工藝是其關(guān)鍵技術(shù)之一。為我國(guó)開(kāi)展極紫外光刻材料研究提供參考,綜述了Z近幾年來(lái)文獻(xiàn)報(bào)道的研究成果,介紹了極紫外光刻技術(shù)發(fā)展歷程、現(xiàn)狀、光刻特點(diǎn)及對(duì)光刻材料的基本要求,總結(jié)了極紫外光刻材料的研究領(lǐng)域和具體分類(lèi),著重闡述了主要光刻材料的組成、光刻原理,光刻性能所達(dá)到的水平和存在的主要問(wèn)題,Z后探討了極紫外光刻材料未來(lái)的主要研究方向。[詳細(xì)]
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2018-06-21 16:14
期刊論文
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LLG 極紫外/遠(yuǎn)紫外波前傳感器產(chǎn)品樣冊(cè)
- LLG 極紫外/遠(yuǎn)紫外波前傳感器產(chǎn)品樣冊(cè)[詳細(xì)]
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2024-09-28 21:29
報(bào)價(jià)單
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聚酰亞胺材料在鋰電池隔膜領(lǐng)域的研究進(jìn)展(二)
- 模板法是以具有一定結(jié)構(gòu)尺寸且與聚酰胺酸不相容的致孔劑為模板,將聚酰胺酸與致孔劑混合后,經(jīng)亞胺化后得到致孔劑/聚酰亞胺復(fù)合膜,再用模板脫除劑除去致孔劑制備PI多孔膜的方法。[詳細(xì)]
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2023-08-09 10:10
其它
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聚酰亞胺材料在鋰電池隔膜領(lǐng)域的研究進(jìn)展(一)
- 傳統(tǒng)的聚烯烴隔膜在電池過(guò)充或使用不當(dāng)?shù)那闆r下,電池內(nèi)部或外部過(guò)熱使得電池溫度超過(guò)160℃時(shí),聚烯烴隔膜會(huì)收縮或熔斷,導(dǎo)致電池的正負(fù)電極接觸而短路,存在引起電池燃燒或爆炸的危險(xiǎn),嚴(yán)重威脅著使用者的生命安全。[詳細(xì)]
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2023-08-09 10:12
其它
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利用極紫外(EUV)輻射實(shí)現(xiàn)高分辨率成像!
- 極紫外(EUV)應(yīng)用亮點(diǎn)●●
//1|新的臺(tái)式光源使 10-100 納米級(jí)的應(yīng)用變?yōu)楝F(xiàn)實(shí)
//2|極紫外線(xiàn)應(yīng)用包括計(jì)量學(xué)、納米級(jí)成像和電子光譜學(xué)
//3|極紫外線(xiàn)系統(tǒng)通常采用反射光學(xué)系統(tǒng)因?yàn)檎凵湎到y(tǒng)的光吸收率高
//4|表面粗糙度至關(guān)重要因?yàn)檩^短波長(zhǎng)處的散射通常更高
極紫外線(xiàn) (EUV) 輻射包括在 X 射線(xiàn)和深紫外線(xiàn) (DUV) 光譜區(qū)域之間約 10nm 至 100nm 的波長(zhǎng)帶。隨著極紫外線(xiàn)領(lǐng)域(包括光刻技術(shù)、納米級(jí)成像和光譜學(xué)等)中對(duì)于許多應(yīng)用的需求日趨緊迫,Z jin 均已著手開(kāi)發(fā)緊湊型極紫外線(xiàn)光源。這一努力為幾種極紫外線(xiàn)光源帶來(lái)了商業(yè)可用性.
幾乎所有材料都能夠 完 quan 吸收極紫外線(xiàn)輻射,因此光學(xué)元件幾乎都是反射,而不是透射的。由于波長(zhǎng)很短,因此對(duì)極紫外線(xiàn)光學(xué)元件表面的質(zhì)量要求比可見(jiàn)光元件的要求更高。雖然由于其苛刻的要求,生產(chǎn)極紫外線(xiàn)光學(xué)元件并非易事,但因極紫外線(xiàn)輻射在高分辨率成像、光譜學(xué)和材料加工等方面的優(yōu)勢(shì),仍然值得為此付出努力.[詳細(xì)]
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2022-03-11 09:29
標(biāo)準(zhǔn)
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紫外可見(jiàn)光固化材料的流變研究
- 紫外可見(jiàn)光固化材料的流變研究[詳細(xì)]
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2024-09-29 06:01
安裝說(shuō)明
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QUV紫外老化箱輻照度極ng準(zhǔn)控制
- QUV紫外老化箱輻照度極ng準(zhǔn)控制[詳細(xì)]
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2024-09-29 06:51
期刊論文
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糖生物學(xué)研究進(jìn)展
- 糖生物學(xué)研究進(jìn)展[詳細(xì)]
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2006-11-23 00:00
實(shí)驗(yàn)操作
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催化重整研究進(jìn)展
- 介紹了國(guó)內(nèi)外催化重整工藝以及半再生重整與連續(xù)重整催化劑的研究進(jìn)展,綜述了美國(guó) UOP 公司、法國(guó) IFP 公司、ZG RIPP 和ZG FRIPP 在催化重整催化劑方面的研究進(jìn)展。設(shè)計(jì)新型催化重整反應(yīng)途徑,開(kāi)發(fā)出新型催化反應(yīng)所需的工藝和催化劑將成為未來(lái)發(fā)展的方向。 [詳細(xì)]
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2018-09-03 17:59
期刊論文
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多肽合成研究進(jìn)展
- 多肽是一類(lèi)生物活性很高的物質(zhì)。本文從化學(xué)合成和生物合成兩個(gè)方面綜述了多肽的合成,介紹了固相合成、液相分段合成法、施陶丁格連接、天然化學(xué)連接、光敏感輔助基連接、可去除輔助基連接、化學(xué)區(qū)域選擇連接、氨基酸的羧內(nèi)酸酐( NCA) 法、組合化學(xué)法、酶解法、基因工程法、發(fā)酵法等合成方法的原理及其優(yōu)缺點(diǎn),對(duì)多肽合成方法的發(fā)展及其中藥資源領(lǐng)域的應(yīng)用進(jìn)行了展望,為相關(guān)研究提供參考。[詳細(xì)]
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2024-09-13 16:51
期刊論文
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骨鈣蛋白的研究進(jìn)展
- 骨鈣蛋白的研究進(jìn)展[詳細(xì)]
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2013-09-26 00:00
期刊論文
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蛋白質(zhì)組技術(shù)研究進(jìn)展
- 蛋白質(zhì)組技術(shù)研究進(jìn)展[詳細(xì)]
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2018-08-15 10:57
產(chǎn)品樣冊(cè)
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木材干燥技術(shù)研究進(jìn)展
- 闡述了木材干燥技術(shù)的發(fā)展,介紹了木材干燥基礎(chǔ)理論研究及工藝研究現(xiàn)狀,探討了各種干燥工藝的優(yōu)缺點(diǎn)及其應(yīng)用,指出了目前木材干燥行業(yè)存在的主要問(wèn)題,對(duì)木材干燥技術(shù)領(lǐng)域的發(fā)展進(jìn)行了展望。[詳細(xì)]
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2018-08-17 17:49
期刊論文
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光催化劑的研究進(jìn)展
- 主要介紹近幾年光催化劑的研究進(jìn)展,根據(jù)光催化劑化學(xué)組成不同,分類(lèi)總結(jié)一些典型金屬氧化物光催化劑、非金屬氧化物光催化劑的合成技術(shù)發(fā)展以及光催化劑在廢氣、廢水處理等環(huán)保領(lǐng)域和分解水制氫等新能源領(lǐng)域的應(yīng)用,對(duì)光催化領(lǐng)域未來(lái)發(fā)展前景進(jìn)行展望。[詳細(xì)]
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2018-09-05 13:56
期刊論文
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ASTM G154-06(非金屬材料)快速紫外老化測(cè)試方法
- ASTMG154-06(非金屬材料)快速紫外老化測(cè)試方法1.Scope1.1ThispracticecoversthebasicprinciplesandoperatingproceduresforusingfluorescentUVlight,andwaterapparatusintendedtoreproducetheweatheringeffectsthatoccurwhenmaterialsareexposedtosunlight(eitherdirectorthroughwindowglass)andmoistureasrainordewinactualusage.Thispracticeislimitedtotheproceduresforobtaining,measuring,andcontrol領(lǐng)conditionsofexposure.Anumberofexposureproceduresarelistedinanappendix;however,thispracticedoesnotspecifytheexposureconditionsbestsuitedforthematerialtobetested.NOTE1PracticeG151describesperformancecriteriaforallexposuredevicesthatuselaboratorylightsources.ThispracticereplacesPracticeG53,whichdescribesveryspecificdesignsfordevicesusedforfluorescentUVexposures.TheapparatusdescribedinPracticeG53iscoveredbythispractice.1.2TestspecimensareexposedtofluorescentUVlightundercontrolledenvironmentalconditions.DifferenttypesoffluorescentUVlightsourcesaredescribed.1.3SpecimenpreparationandevaluationoftheresultsarecoveredinASTMmethodsorspecificationsforspecificmaterials.GeneralguidanceisgiveninPracticeG151andISO4892-1.MorespecificinformationaboutmethodsfordeterminingthechangeinpropertiesafterexposureandreportingtheseresultsisdescribedinISO4582.[詳細(xì)]
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2018-10-11 10:00
產(chǎn)品樣冊(cè)
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V246-用振蕩流變儀測(cè)量快速紫外固化材料(English)
- V246-用振蕩流變儀測(cè)量快速紫外固化材料(English)[詳細(xì)]
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2024-09-29 15:02
應(yīng)用文章
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SPME-HPLC聯(lián)用技術(shù)研究進(jìn)展
- SPME-HPLC聯(lián)用技術(shù)研究進(jìn)展[詳細(xì)]
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2007-04-04 00:00
產(chǎn)品樣冊(cè)
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吸水橡膠的研究進(jìn)展
- 吸水橡膠的研究進(jìn)展[詳細(xì)]
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2010-10-20 00:00
標(biāo)準(zhǔn)
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胡蘿卜干燥技術(shù)研究進(jìn)展
- 胡蘿卜干燥技術(shù)研究進(jìn)展[詳細(xì)]
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2011-04-16 00:00
安裝說(shuō)明
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三聚氰胺檢測(cè)方法研究進(jìn)展
- 三聚氰胺檢測(cè)方法研究進(jìn)展[詳細(xì)]
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2014-11-13 00:00
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