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勻膠機(jī) 型號(hào):DP-100

本文由 北京亞歐德鵬科技有限公司 整理匯編

2024-10-03 06:11 554閱讀次數(shù)

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勻膠機(jī)旋涂?jī)x/旋涂?jī)x/勻膠機(jī)型號(hào):DP-100一.產(chǎn)品應(yīng)用DP-100型勻膠機(jī)(SpinCoater),是新一代旋轉(zhuǎn)涂膜設(shè)備,具有速度精度高,主動(dòng)式速度調(diào)控、勻膠過(guò)程多段程序控制等特點(diǎn)。主要用于微電子、半導(dǎo)體、制版、新能源、生物材料、光學(xué)器件等領(lǐng)域的表面涂膜工藝,例如各類納米薄膜材料、光阻涂覆、生物功能涂層的制備。二.產(chǎn)品特點(diǎn)1.機(jī)身外殼采用SUS304不銹鋼制作,防腐蝕、不生銹、易清潔。2.真空室采用316L耐腐蝕不銹鋼制作,防止長(zhǎng)期使用過(guò)程中膠液的侵蝕。3.接膠盤為PP材料經(jīng)精加工制作而成,接儲(chǔ)脫離基片的膠液,避免進(jìn)入設(shè)備內(nèi)部。耐腐蝕、可拆卸、易清洗。4.旋轉(zhuǎn)臺(tái)采用鋁材制作,表面經(jīng)過(guò)硬質(zhì)氧化處理,耐摩擦同時(shí)避免劃傷基片底部。防止膠液的腐蝕。5.勻膠過(guò)程全自動(dòng)分段程序控制。整個(gè)勻膠過(guò)程Z多可分十段進(jìn)行,每段的加速時(shí)間、旋轉(zhuǎn)速度、勻膠時(shí)間均可精密控制、連續(xù)可調(diào)。6.4.3英寸液晶觸摸屏使控制更方便;運(yùn)行狀態(tài)及各項(xiàng)參數(shù)實(shí)時(shí)顯示,更直觀了解勻膠進(jìn)程;7.旋轉(zhuǎn)前增加預(yù)吸片步驟,“預(yù)吸片時(shí)間”Z多為99s,確?;喂涛接谛D(zhuǎn)臺(tái)后再進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂膜。勻膠完成后增加解吸片步驟,“解吸片時(shí)間”Z多為99s,確保安全停止后再切斷真空,釋放基片,防止涂膜后的基片滑落,對(duì)膜層造成損傷。8.采用精密穩(wěn)定的直流電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器,旋轉(zhuǎn)速度采用主動(dòng)控制方式,區(qū)別于老舊的被動(dòng)測(cè)速控制方式,從而使旋轉(zhuǎn)速度更極ng確。9.標(biāo)配無(wú)油真空泵,低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉(zhuǎn)臺(tái),防止飛片。三.技術(shù)參數(shù)1.旋涂速度:400~8000rpm2.轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度:1rpm3.每段加速時(shí)間:1~99s4.每段勻膠時(shí)間:1~99s5.預(yù)吸片時(shí)間:1~99s6.解吸片時(shí)間:1~99s7.鍍膜尺寸:5-100mm8.真空泵抽氣速率:60L/min

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智能裂縫測(cè)寬儀/裂縫測(cè)寬儀
石材放射性檢測(cè)儀/γ射線檢測(cè)儀/石材(建材)放射性檢測(cè)儀
磁天平(古埃型)
沉降分析實(shí)驗(yàn)儀 DP-FD-SAE-B
扭矩信號(hào)耦合器/扭矩傳感器型號(hào):DP-HX-901
核酸蛋白檢測(cè)儀/紫外檢測(cè)儀 型號(hào):DP-HD21-1
數(shù)字電阻率儀 電阻率儀 型號(hào):DP-WDDS-2
存儲(chǔ)式數(shù)字測(cè)振儀 數(shù)字測(cè)振儀 測(cè)振儀DP-VM-9502A
電腦聯(lián)網(wǎng)兩用型測(cè)土配方施肥儀,土壤養(yǎng)分測(cè)定儀DP-RL-3F
冷凍干燥機(jī)/多歧管壓蓋式干燥機(jī) 型號(hào):DPFD-1D-50

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