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Insulator analysis using combined FIB-SEM instrument with TOF-SIMS

本文由 泰思肯貿(mào)易(上海)有限公司 整理匯編

2024-09-28 18:23 1265閱讀次數(shù)

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The development of a Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometer (TOF-SIMS) that can be 
attached to a FIB-SEM instrument provides an analyzer that very well complements the standard EDS  detector. However, contrary to EDS, it gives much better depth resolution, possibility of depth profiling as well as distinguishing isotopes. 

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