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碳化硅晶體的掏棒加工

本文由 上海鷙遠(yuǎn)科技有限公司 整理匯編

2024-09-11 14:33 980閱讀次數(shù)

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    近年來碳化硅材料產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展,碳化硅晶體生產(chǎn)和加工工藝獲得較大突破,降低了碳化硅晶體的生產(chǎn)成本,促進(jìn)了碳化硅材料的應(yīng)用推廣。近期出現(xiàn)的碳化硅晶體掏棒工藝,就是為了提高加工效率,減少晶體開裂、提高成品率、降低加工成本而發(fā)展的新的加工方法,正在被越來越多的碳化硅晶體企業(yè)所采用。本文從以下五個(gè)方面介紹的碳化硅晶體掏棒加工工藝的優(yōu)越性:
一、減少加工工作量,降低加工成本;
二、減少晶體加工開裂、提高成品率;
三、加工過程更加靈活簡便;
四、設(shè)備采購價(jià)格較低,減少了項(xiàng)目啟動(dòng)投入成本;
五、支持大直徑晶體工藝路線,提高晶體質(zhì)量。
    總之,碳化硅晶體采用掏棒方式加工晶體外圓,可使外圓加工工序變的簡單,縮短了加工時(shí)間、減少了晶體開裂的概率、降低了加工成本,同時(shí)節(jié)省了企業(yè)項(xiàng)目初期的設(shè)備投入成本。因此,碳化硅晶體的掏棒工藝將為越來越多的碳化硅晶體生產(chǎn)企業(yè)所采用,并使企業(yè)從中受益。

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