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High Spatial Resolution Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry for the Masses

本文由 泰思肯貿(mào)易(上海)有限公司 整理匯編

2021-05-21 13:26 1229閱讀次數(shù)

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The ion microprobe or secondary ion mass spectrometer(SIMS) has existed for almost fifty years , but althoughgreat improvements have been made in sensitivity and easeof use, the lateral resolution has not improved quite as much.Early papers reported measurements from fifty micron areas

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