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壓阻式壓力傳感器結(jié)構(gòu)中為什么有真空腔

zcylcf 2008-07-24 03:42:03 391  瀏覽
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參與評(píng)論

全部評(píng)論(2條)

  • dream赤夢(mèng)shine 2012-04-24 00:00:00
    PPT版的解釋木有,只能給你簡(jiǎn)單介紹下:壓阻式傳感器一般是通過(guò)測(cè)量壓力敏原件(壓敏金屬,陶瓷,硅晶體等)受壓力作用發(fā)生一定形變后,其阻值產(chǎn)生的相應(yīng)變化來(lái)將壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào),因此壓阻式傳感器一般要形成一個(gè)完整的閉合電路(一般是惠斯通電橋的形式),再根據(jù)歐姆定律,實(shí)時(shí)測(cè)出壓力敏電阻元件的阻值變化,來(lái)確定感應(yīng)壓力大小。 壓電式壓力傳感器則是利用一些壓電物質(zhì)(壓電陶瓷、酒石酸鉀鈉等)正壓電效應(yīng),即受到壓力作用產(chǎn)形變使自身所帶的電荷量發(fā)生變化,通過(guò)測(cè)量這種電荷量的變化,或者因電荷量變化產(chǎn)生的電動(dòng)勢(shì)的強(qiáng)弱的來(lái)感知所測(cè)壓力的大小。 據(jù)我所知,壓電的壓力傳感器很少,因?yàn)閴弘姴牧喜荒軠y(cè)量靜態(tài)的變化,所以壓電材料多用在振動(dòng),加速度傳感器上。壓阻材料應(yīng)用范圍就比較廣了。

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    評(píng)論

  • 狐貍50h360 2008-07-25 00:00:00
    piezoresistance type transducer 利用單晶硅材料的壓阻效應(yīng)和集成電路技術(shù)制成的傳感器。單晶硅材料在受到力的作用后,電阻率發(fā)生變化,通過(guò)測(cè)量電路就可得到正比于力變化的電信號(hào)輸出。壓阻式傳感器用于壓力、拉力、壓力差和可以轉(zhuǎn)變?yōu)榱Φ淖兓钠渌锢砹浚ㄈ缫何?、加速度、重量、?yīng)變、流量、真空度)的測(cè)量和控制(見(jiàn)加速度計(jì))。 壓阻效應(yīng) 當(dāng)力作用于硅晶體時(shí),晶體的晶格產(chǎn)生變形,使載流子從一個(gè)能谷向另一個(gè)能谷散射,引起載流子的遷移率發(fā)生變化,擾動(dòng)了載流子縱向和橫向的平均量,從而使硅的電阻率發(fā)生變化。這種變化隨晶體的取向不同而異,因此硅的壓阻效應(yīng)與晶體的取向有關(guān)。硅的壓阻效應(yīng)不同于金屬應(yīng)變計(jì)(見(jiàn)電阻應(yīng)變計(jì)),前者電阻隨壓力的變化主要取決于電阻率的變化,后者電阻的變化則主要取決于幾何尺寸的變化(應(yīng)變),而且前者的靈敏度比后者大50~100倍。 壓阻式壓力傳感器的結(jié)構(gòu) 這種傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯片,并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi),引出電極引線。壓阻式壓力傳感器又稱為固態(tài)壓力傳感器,它不同于粘貼式應(yīng)變計(jì)需通過(guò)彈性敏感元件間接感受外力,而是直接通過(guò)硅膜片感受被測(cè)壓力的。硅膜片的一面是與被測(cè)壓力連通的高壓腔,另一面是與大氣連通的低壓腔。硅膜片一般設(shè)計(jì)成周邊固支的圓形,直徑與厚度比約為20~60。在圓形硅膜片(N型)定域擴(kuò)散4條P雜質(zhì)電阻條,并接成全橋,其中兩條位于壓應(yīng)力區(qū),另兩條處于拉應(yīng)力區(qū),相對(duì)于膜片ZX對(duì)稱。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴(kuò)散制作電阻條 ,兩條受拉應(yīng)力的電阻條與另兩條受壓應(yīng)力的電阻條構(gòu)成全橋。 發(fā)展?fàn)顩r 1954年C.S.史密斯詳細(xì)研究了硅的壓阻效應(yīng),從此開(kāi)始用硅制造壓力傳感器。早期的硅壓力傳感器是半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)式的。后來(lái)在 N型硅片上定域擴(kuò)散P型雜質(zhì)形成電阻條,并接成電橋,制成芯片。此芯片仍需粘貼在彈性元件上才能敏感壓力的變化。采用這種芯片作為敏感元件的傳感器稱為擴(kuò)散型壓力傳感器。這兩種傳感器都同樣采用粘片結(jié)構(gòu),因而存在滯后和蠕變大、固有頻率低、不適于動(dòng)態(tài)測(cè)量以及難于小型化和集成化、精度不高等缺點(diǎn)。70年代以來(lái)制成了周邊固定支撐的電阻和硅膜片的一體化硅杯式擴(kuò)散型壓力傳感器。它不僅克服了粘片結(jié)構(gòu)的固有缺陷,而且能將電阻條、補(bǔ)償電路和信號(hào)調(diào)整電路集成在一塊硅片上,甚至將微型處理器與傳感器集成在一起,制成智能傳感器(見(jiàn)單片微型計(jì)算機(jī))。這種新型傳感器的優(yōu)點(diǎn)是:①頻率響應(yīng)高(例如有的產(chǎn)品固有頻率達(dá)1.5兆赫以上),適于動(dòng)態(tài)測(cè)量;②體積?。ɡ缬械漠a(chǎn)品外徑可達(dá)0.25毫米),適于微型化;③精度高,可達(dá)0.1~0.01%;④靈敏高,比金屬應(yīng)變計(jì)高出很多倍,有些應(yīng)用場(chǎng)合可不加放大器;⑤無(wú)活動(dòng)部件,可靠性高,能工作于振動(dòng)、沖擊、腐蝕、強(qiáng)干擾等惡劣環(huán)境。其缺點(diǎn)是溫度影響較大(有時(shí)需進(jìn)行溫度補(bǔ)償)、工藝較復(fù)雜和造價(jià)高等。 應(yīng)用 壓阻式傳感器廣泛地應(yīng)用于航天、航空、航海、石油化工、動(dòng)力機(jī)械、生物醫(yī)學(xué)工程、氣象、地質(zhì)、地震測(cè)量等各個(gè)領(lǐng)域。在航天和航空工業(yè)中壓力是一個(gè)關(guān)鍵參數(shù),對(duì)靜態(tài)和動(dòng)態(tài)壓力,局部壓力和整個(gè)壓力場(chǎng)的測(cè)量都要求很高的精度。壓阻式傳感器是用于這方面的較理想的傳感器。例如,用于測(cè)量直升飛機(jī)機(jī)翼的氣流壓力分布,測(cè)試發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣口的動(dòng)態(tài)畸變、葉柵的脈動(dòng)壓力和機(jī)翼的抖動(dòng)等。在飛機(jī)噴氣發(fā)動(dòng)機(jī)ZX壓力的測(cè)量中,使用專門(mén)設(shè)計(jì)的硅壓力傳感器,其工作溫度達(dá)500℃以上。在波音客機(jī)的大氣數(shù)據(jù)測(cè)量系統(tǒng)中采用了精度高達(dá)0.05%的配套硅壓力傳感器。在尺寸縮小的風(fēng)洞模型試驗(yàn)中,壓阻式傳感器能密集安裝在風(fēng)洞進(jìn)口處和發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣管道模型中。單個(gè)傳感器直徑僅2.36毫米,固有頻率高達(dá)300千赫,非線性和滯后均為全量程的±0.22%。在生物醫(yī)學(xué)方面,壓阻式傳感器也是理想的檢測(cè)工具。已制成擴(kuò)散硅膜薄到10微米,外徑僅0.5毫米的注射針型壓阻式壓力傳感器和能測(cè)量心血管、顱內(nèi)、尿道、子宮和眼球內(nèi)壓力的傳感器。圖3是一種用于測(cè)量腦壓的傳感器的結(jié)構(gòu)圖。壓阻式傳感器還有效地應(yīng)用于爆炸壓力和沖擊波的測(cè)量、真空測(cè)量、監(jiān)測(cè)和控制汽車(chē)發(fā)動(dòng)機(jī)的性能以及諸如測(cè)量槍炮膛內(nèi)壓力、發(fā)射沖擊波等兵器方面的測(cè)量。此外,在油井壓力測(cè)量、隨鉆測(cè)向和測(cè)位地下密封電纜故障點(diǎn)的檢測(cè)以及流量和液位測(cè)量等方面都廣泛應(yīng)用壓阻式傳感器。隨著微電子技術(shù)和計(jì)算機(jī)的進(jìn)一步發(fā)展,壓阻式傳感器的應(yīng)用還將迅速發(fā)展。

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壓阻式加速度傳感器特性

壓阻式加速度傳感器是一種常用的傳感器類(lèi)型,廣泛應(yīng)用于汽車(chē)、航天、工業(yè)自動(dòng)化等領(lǐng)域。其核心原理基于壓阻效應(yīng),即材料的電阻隨著外界應(yīng)力或應(yīng)變的變化而發(fā)生變化。本文將詳細(xì)探討壓阻式加速度傳感器的主要特性,包括其工作原理、優(yōu)勢(shì)、應(yīng)用領(lǐng)域以及可能的限制。

壓阻式加速度傳感器的工作原理

壓阻式加速度傳感器主要通過(guò)測(cè)量加速度作用下傳感器內(nèi)部的應(yīng)變來(lái)獲得加速度信號(hào)。傳感器內(nèi)部通常由壓阻材料組成,當(dāng)加速度作用在傳感器上時(shí),傳感器材料的形變導(dǎo)致其電阻值發(fā)生變化。這種變化可以通過(guò)精確的電路進(jìn)行檢測(cè),并轉(zhuǎn)化為與加速度成比例的電信號(hào)。由于其高靈敏度和精度,壓阻式加速度傳感器在很多高要求的應(yīng)用場(chǎng)景中表現(xiàn)出色。

壓阻式加速度傳感器的優(yōu)勢(shì)

  1. 高靈敏度:壓阻式加速度傳感器具有非常高的靈敏度,能夠檢測(cè)微小的加速度變化。這使得它特別適用于對(duì)精度要求較高的場(chǎng)合,例如汽車(chē)碰撞測(cè)試、航空航天設(shè)備等。

  2. 結(jié)構(gòu)緊湊:與其他類(lèi)型的加速度傳感器相比,壓阻式加速度傳感器的結(jié)構(gòu)相對(duì)緊湊,便于集成到各種設(shè)備中,尤其是在空間受限的應(yīng)用中表現(xiàn)尤為突出。

  3. 低成本:由于壓阻式加速度傳感器采用的材料相對(duì)簡(jiǎn)單,制造成本較低,這使得它在一些對(duì)成本有較高要求的應(yīng)用中非常受歡迎。

  4. 溫度穩(wěn)定性:壓阻式加速度傳感器的溫度適應(yīng)性較好,能夠在不同的環(huán)境條件下穩(wěn)定工作。通過(guò)合理的設(shè)計(jì)和補(bǔ)償機(jī)制,可以有效減少溫度變化對(duì)其性能的影響。

應(yīng)用領(lǐng)域

壓阻式加速度傳感器被廣泛應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域。在汽車(chē)工業(yè)中,它們用于汽車(chē)安全氣囊的觸發(fā)、車(chē)輛碰撞測(cè)試等場(chǎng)景,保證了乘客的安全。在航空航天領(lǐng)域,壓阻式加速度傳感器被應(yīng)用于飛行器的動(dòng)態(tài)測(cè)試、發(fā)動(dòng)機(jī)監(jiān)控等工作,確保了設(shè)備的可靠性和安全性。壓阻式加速度傳感器還廣泛應(yīng)用于智能設(shè)備、機(jī)器人技術(shù)以及健康監(jiān)測(cè)等多個(gè)領(lǐng)域。

限制與挑戰(zhàn)

盡管壓阻式加速度傳感器具有許多優(yōu)勢(shì),但也存在一定的限制。例如,其靈敏度受到外界干擾的影響較大,特別是在高頻震動(dòng)或噪聲較大的環(huán)境下,可能會(huì)導(dǎo)致測(cè)量誤差。壓阻材料的選擇和傳感器的封裝設(shè)計(jì)對(duì)傳感器的性能有著直接影響,因此需要精細(xì)的技術(shù)調(diào)整和校準(zhǔn)。

結(jié)語(yǔ)

壓阻式加速度傳感器憑借其高靈敏度、結(jié)構(gòu)緊湊和低成本的優(yōu)點(diǎn),已成為各類(lèi)精密測(cè)量和檢測(cè)設(shè)備的重要組成部分。在實(shí)際應(yīng)用中,如何克服環(huán)境干擾和提高傳感器的精度,仍然是當(dāng)前研究的。隨著技術(shù)的不斷發(fā)展,壓阻式加速度傳感器有望在更多領(lǐng)域發(fā)揮更大的作用。

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壓阻式加速度傳感器特性

壓阻式加速度傳感器是一種常用于測(cè)量物體加速度的高精度傳感器。它通過(guò)感應(yīng)物體在不同方向上的加速度變化,來(lái)提供電信號(hào)輸出,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)加速度的檢測(cè)。本文將深入分析壓阻式加速度傳感器的工作原理、關(guān)鍵特性以及在實(shí)際應(yīng)用中的優(yōu)勢(shì)和挑戰(zhàn),以便讓讀者全面了解其性能特點(diǎn)及其應(yīng)用潛力。

工作原理

壓阻式加速度傳感器的工作原理基于壓阻效應(yīng),即材料在受力或變形時(shí),其電阻值發(fā)生變化。該傳感器通常由硅材料或其他壓阻材料制成,內(nèi)含微小的應(yīng)變片。當(dāng)加速度作用在傳感器上時(shí),傳感器內(nèi)部的應(yīng)變片會(huì)發(fā)生微小的形變,導(dǎo)致電阻的變化。這一變化通過(guò)電路處理后轉(zhuǎn)換為與加速度成正比的電信號(hào)輸出。由于其高靈敏度和穩(wěn)定性,壓阻式加速度傳感器廣泛應(yīng)用于汽車(chē)、航天、工業(yè)自動(dòng)化等領(lǐng)域。

關(guān)鍵特性

  1. 高靈敏度與精確度 壓阻式加速度傳感器具有出色的靈敏度,其能夠感知微小的加速度變化,通常具有納米級(jí)別的檢測(cè)精度。這使得該類(lèi)型傳感器能夠應(yīng)用于要求高精度檢測(cè)的場(chǎng)合,如慣性測(cè)量單元(IMU)以及航空航天領(lǐng)域。

  2. 廣泛的量程范圍 與其他類(lèi)型的加速度傳感器相比,壓阻式加速度傳感器可以在極寬的加速度量程內(nèi)工作,既能夠測(cè)量極小的加速度變化,也可以適應(yīng)大幅度的沖擊和振動(dòng)。因此,它在需要寬量程適應(yīng)的應(yīng)用場(chǎng)合中表現(xiàn)出色。

  3. 高抗干擾性 壓阻式加速度傳感器由于其特殊的構(gòu)造和材料選擇,具有較強(qiáng)的抗電磁干擾和溫度變化的能力。這意味著它能夠在復(fù)雜的環(huán)境中長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行,尤其在工業(yè)自動(dòng)化等對(duì)環(huán)境條件要求較高的應(yīng)用中,展現(xiàn)出了良好的性能。

  4. 尺寸小巧,適合集成 這種傳感器通常體積較小,能夠輕松集成到各種設(shè)備中,特別適合在空間受限的場(chǎng)合使用。它的微型化設(shè)計(jì)使得在不犧牲性能的前提下,能夠滿足越來(lái)越小型化、集成化的市場(chǎng)需求。

  5. 穩(wěn)定性和可靠性 壓阻式加速度傳感器具有較長(zhǎng)的使用壽命和較高的可靠性,能夠在惡劣的工作環(huán)境下長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行,減少了頻繁更換傳感器所帶來(lái)的成本和維護(hù)麻煩。

應(yīng)用領(lǐng)域

壓阻式加速度傳感器憑借其獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn),廣泛應(yīng)用于多個(gè)行業(yè)。在汽車(chē)行業(yè)中,它常用于汽車(chē)安全系統(tǒng)中,例如氣囊觸發(fā)系統(tǒng)、車(chē)身穩(wěn)定控制系統(tǒng)等。在航天航空領(lǐng)域,它被廣泛應(yīng)用于飛行器的慣性導(dǎo)航系統(tǒng)中,確保飛行精度和穩(wěn)定性。它還被應(yīng)用于工業(yè)自動(dòng)化領(lǐng)域,作為機(jī)械設(shè)備狀態(tài)監(jiān)測(cè)的一部分,提供實(shí)時(shí)的加速度數(shù)據(jù),幫助預(yù)防設(shè)備故障。

挑戰(zhàn)與發(fā)展趨勢(shì)

盡管壓阻式加速度傳感器在各個(gè)領(lǐng)域的應(yīng)用前景廣闊,但仍面臨一些挑戰(zhàn)。例如,傳感器的精度會(huì)受到溫度變化和長(zhǎng)期使用后的衰退影響,因此需要進(jìn)一步優(yōu)化材料和設(shè)計(jì)以提升其長(zhǎng)期穩(wěn)定性。隨著對(duì)傳感器性能要求的不斷提高,如何在保證高精度和可靠性的降低成本、提高產(chǎn)能,成為當(dāng)前技術(shù)發(fā)展的一大方向。

總結(jié)

壓阻式加速度傳感器憑借其的靈敏度、廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域以及可靠的性能,已成為工業(yè)、航空航天、汽車(chē)等多個(gè)行業(yè)中不可或缺的關(guān)鍵部件。隨著科技的進(jìn)步,未來(lái)其性能將得到進(jìn)一步提升,特別是在精度、可靠性以及集成度方面,期待為更多領(lǐng)域帶來(lái)創(chuàng)新應(yīng)用。

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