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電容式壓力變送器和單晶硅變送器有哪些區(qū)別.各自有

弘緣居士 2017-08-26 06:35:10 608  瀏覽
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參與評論

全部評論(1條)

  • 漠北大野 2017-08-27 00:00:00
    工作原理已經(jīng)決定了他們的不一樣 單晶硅變送器采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻,并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內。 電容式變送器被測介質的兩種壓力通入高、低兩個壓力室,作用在δ元件(即敏感元件)的兩側隔離膜片上,通過隔離片和元件內的填充液傳送到測量膜片兩側。電容式壓力變送器是由測量膜片與兩側絕緣片上的電極各組成一個電容器。 當兩側壓力不一致時,致使測量膜片產(chǎn)生位移,其位移量和壓力差成正比,故兩側電容量就不等,通過振蕩和解調環(huán)節(jié),轉換成與壓力成正比的信號。

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