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激光干涉儀能檢測到的機床定位精度Z高能達到多少?

okyan0604 2012-04-09 01:58:55 499  瀏覽
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參與評論

全部評論(4條)

  • kelislove瓜瓜 2012-04-10 00:00:00
    就是有很高的呀

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  • 瘋狂麥克斯7 2012-04-10 00:00:00
    激光干涉儀一般在0.5~0.7ppm(ppm是一攝氏度變化引起的誤差在0.5~0.7μ)

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  • 何喜艾 2012-04-10 00:00:00
    首先明確,等到激光穩(wěn)定后檢測的結果都能滿足機床要求。 其次,PPM,是個相對概念,簡單理解就是百萬分之一,舉例,若測量出的1米長度,儀器精度是1PPM,則誤差為上下1um(1um=1/1000*1/1000,就是一米的百萬分之一)。但是這只是理論精度,實際Z大的誤差來自環(huán)境的變化(溫度,濕度,壓力等)以及余玄誤差(激光的光路沒有找正,和機床運動軸有夾角)。

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  • 白狼945 2012-04-10 00:00:00
    安捷倫就是之前的惠普的現(xiàn)在能達到0.4ppm(每米的誤差在0.4微米) 雷尼紹的能達到0.5ppm即每米的誤差在0.5微米。 如果你的機床要測2米,用安捷倫的總誤差在0.8微米,雷尼紹的在1微米。你測的越長累計誤差越大。 當然這些都是理論實驗室技術參數(shù),一般在高級實驗室才能實現(xiàn)。 如果在機床現(xiàn)場使用這個精度基本上很難保障,主要看干涉儀的抗干擾性了。安捷倫的是雙頻外差干涉相對要好一些,當然單頻的雷尼紹也是能用的。在不追求非常高精度和高穩(wěn)定性時,二者差距不大。

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