硅板上氧化層厚度的測(cè)定方法
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純Si板在氧氣和氬氣混合環(huán)境下熱處理，使其表面氧化得到Si/SiO2，不論處理?xiàng)l件，氧化層的厚度應(yīng)該用什么方法測(cè)定呢？需要精確到1納米。希望有知道的朋友能賜教。... 純Si板在氧氣和氬氣混合環(huán)境下熱處理，使其表面氧化得到Si/SiO2，不論處理?xiàng)l件，氧化層的厚度應(yīng)該用什么方法測(cè)定呢？需要精確到1納米。 希望有知道的朋友能賜教。 展開(kāi)
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- qq252027495 2009-08-10 00:00:00
- 因?yàn)楣璋逶谘趸^(guò)程中，硅原子的數(shù)量不變，只是增加了氧原子數(shù)量。或許可以通過(guò)掃描，記錄表示氧原子的含量與硅原子的含量的比值來(lái)進(jìn)行推算。 不過(guò)氧化過(guò)程中不只會(huì)得到二氧化硅，也會(huì)產(chǎn)生一氧化硅的，需要注意。
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- 狂妄的小孩A 2009-08-10 00:00:00
- 這個(gè)用光學(xué)方法比較好 可以用 白光照射氧化薄膜時(shí)，分別從薄膜上、下表面反射的兩束光線發(fā)生干涉.根據(jù)布拉格公式(Braggequation)，若已知反射干涉光譜相鄰兩個(gè)極大值對(duì)應(yīng)的波數(shù)差和薄膜的折射率就可以算出薄膜厚度.sio2的有效折射率可根據(jù)Maxwell-Garnett有效介電常數(shù)理論由孔隙率算出.這種方法的優(yōu)點(diǎn)是能實(shí)現(xiàn)sio2總體膜厚的非接觸、非破壞性在線測(cè)量. 缺點(diǎn)是如果氧化不徹底會(huì)造成有效折射率計(jì)算不夠準(zhǔn)確
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- 茶綠江南杯 2009-08-09 00:00:00
- 哇...我連問(wèn)題都沒(méi)看懂。。。真是隔行如隔山，文理科差別真大。
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- 越愛(ài)越難越遠(yuǎn) 2009-08-10 00:00:00
- 1.利用刻蝕工藝，比如說(shuō)加多少刻蝕劑在多少時(shí)間內(nèi)可以刻蝕多少的厚度，然后對(duì)比參考數(shù)據(jù) 2.光學(xué)的方法，利用硅和氧化硅的折射率的差別，從而使圓偏光變成橢偏光，利用軟件來(lái)計(jì)算，可以得到氧化層的厚度+周期厚度的形式，再根據(jù)簡(jiǎn)單的推斷，可得氧化層的厚度，在精確調(diào)節(jié)光路的情況下可以得到1nm的精確度。
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- 零下三度的愛(ài) 2016-01-18 00:00:00
- 1.利用刻蝕工藝，比如說(shuō)加多少刻蝕劑在多少時(shí)間內(nèi)可以刻蝕多少的厚度，然后對(duì)比參考數(shù)據(jù) 2.光學(xué)的方法，利用硅和氧化硅的折射率的差別，從而使圓偏光變成橢偏光，利用軟件來(lái)計(jì)算，可以得到氧化層的厚度+周期厚度的形式，再根據(jù)簡(jiǎn)單的推斷，可得氧化層的厚度，在精確調(diào)節(jié)光路的情況下可以得到1nm的精確度。 硅鈣板具有防火、防潮、隔音、隔熱等性能，在室內(nèi)空氣潮濕的情況下能吸引空氣中水分子、空氣干燥時(shí)，又能釋放水分子，可以適當(dāng)調(diào)節(jié)室內(nèi)干、濕度、增加舒適感。天然石膏制品又是特級(jí)防火材料，在火焰中能產(chǎn)生吸熱反應(yīng)，同時(shí)，釋放出水分子阻止火勢(shì)蔓延，而且不會(huì)分解產(chǎn)生任何有毒的、侵蝕性的、令人窒息的氣體，也不會(huì)產(chǎn)生任何助燃物或煙氣。
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- 硅板上氧化層厚度的測(cè)定方法
- 純Si板在氧氣和氬氣混合環(huán)境下熱處理，使其表面氧化得到Si/SiO2，不論處理?xiàng)l件，氧化層的厚度應(yīng)該用什么方法測(cè)定呢？需要精確到1納米。希望有知道的朋友能賜教。... 純Si板在氧氣和氬氣混合環(huán)境下熱處理，使其表面氧化得到Si/SiO2，不論處理?xiàng)l件，氧化層的厚度應(yīng)該用什么方法測(cè)定呢？需要精確到1納米。 希望有知道的朋友能賜教。 展開(kāi)
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