揭秘遠程微波PECVD系統(tǒng)

Nano-Master的遠程微波等離子體化學氣相沉積（PECVD）系統(tǒng)應用范圍廣泛，包含：

• 基片或粉體的等離子誘導表面改性

• 等離子清洗

• 粉體或顆粒表面等離子聚合

• SiO2,Si3N4或DLC及其他薄膜

• CNT和石墨烯的選擇性生長

• 單晶或多晶金剛石生長

微波模塊：NANO-MASTER獨J專利技術的高質(zhì)量長壽命遠程微波源，頻率為2.45GH，微波發(fā)射功率可以自主調(diào)節(jié)，微波反射功率可通過調(diào)節(jié)降低至發(fā)射功率的千分之一以內(nèi)。遠程微波源，可實現(xiàn)無損傷缺陷的沉積或生長。

設備腔體：水冷側壁，確保在高溫工藝下腔體外表面溫度控制在60℃內(nèi)；在高溫工藝進行過程中，等離子體被束縛在有限的體積內(nèi)，不會對腔體造成刻蝕。

樣品臺：可自動加熱到最高1200℃，PID精確控制，精度±1℃，跟微波電源的加熱獨立。高溫工藝下可持續(xù)旋轉，主動冷卻。具有自動升降功能，可針對自動Load Unload下降樣品臺便于片托自動取出。

溫度模塊：通過系統(tǒng)參數(shù)實現(xiàn)襯底溫度精確控制,在穩(wěn)定的工藝過程中溫度浮動不超過±10℃。利用雙波長高溫計實現(xiàn)對襯底的非接觸式溫度測量；樣品臺內(nèi)部通過熱電偶測量。

氣體控制：根據(jù)需求最多可配置8路工藝氣體，配備吹掃氣路，利用氮氣或是氬氣對管路吹掃。淋浴頭和氣體環(huán)均勻設計，使得氣體在高溫工作狀態(tài)下成分均一，流速穩(wěn)定，不會對襯底造成擾動。

真空模塊：腔室的極限真空度可達1*10-5Pa

樣品傳送模塊：系統(tǒng)可以支持自動Load Lock實現(xiàn)計算機控制的自動進樣和出片

控制模塊：配備計算機控制系統(tǒng)，詳細記錄工藝過程中各項參數(shù)。具備安全互鎖功能及4級密碼授權訪問控制。

                 金剛石膜                          較大微晶金剛石膜                        精細紋理納米結晶金剛石膜

                                                             SEM圖像                                            SEM圖像

以遠程微波PECVD系統(tǒng)沉積金剛石薄膜為例，從甲烷、氫氣或氬氣的氣體混合物中將多晶金剛石薄膜沉積到襯底上。沉積過程中的基片溫度通常為800~900°C，通過雙波長高溫計測量。甲烷、氫氣和氬氣的濃度、功率和壓力值可以改變，以產(chǎn)生各種金剛石膜紋理。因金剛石的許多特性：如化學惰性和穩(wěn)定性，高導熱性，高聲速，高斷裂強度，疏水性，耐磨性，生物惰性，其表面可功能化，并涂覆保形性等，使其成為許多應用的獨特選擇。應用包括MEMS/NEMS器件、摩擦學（機械和生物部件涂層）、熱（散熱器/擴散器）、切割工具、輻射傳感器（電離輻射探測器/劑量計）、電化學應用（生化傳感器）、光學（紅外窗口、透鏡、X射線窗口）和離子束剝離箔。

害蟲遠程實時監(jiān)測系統(tǒng)也叫托普植保信息化監(jiān)控預警系統(tǒng)，是托普云農(nóng)自主研發(fā)的一套四情監(jiān)測設備，該設備由遠程拍照式蟲情測報燈、遠程拍照式孢子捕捉儀、無線遠程拍照式孢子捕捉儀、無線遠程自動氣象站、遠程視頻監(jiān)控系統(tǒng)等組成，可廣泛用于農(nóng)業(yè)害蟲、林業(yè)害蟲、倉儲害蟲等監(jiān)測領域。

眾所周知，在農(nóng)林業(yè)種植上，一些病蟲害的發(fā)生總是無法避免，雖然預防方法多種多樣，但嘗嘗因為不科學的做法而收效甚微。而害蟲遠程實時監(jiān)測系統(tǒng)由遠程拍照式蟲情測報燈、遠程拍照式孢子捕捉儀、無線遠程拍照式孢子捕捉儀、無線遠程自動氣象站、遠程視頻監(jiān)控系統(tǒng)等組成，可自動完成蟲情信息、病菌孢子、農(nóng)林氣象信息的圖像及數(shù)據(jù)采集，并自動上傳至云服務器；遠程無線傳輸、實時顯示、存儲蟲情、病菌孢子圖像；通過圖像信息庫及技術分析功能，分析田間的病蟲害數(shù)量變化，預測病蟲害的發(fā)生時間和趨勢；用戶可通過云平臺或手機APP實時查看數(shù)據(jù)，遠程管理設備，實現(xiàn)信息化管理，達到省、市、縣、鄉(xiāng)各級信息采集站無線傳輸，運程控制，信息數(shù)據(jù)共享，從而提高相關部門的病蟲害監(jiān)測防控能力。

害蟲遠程實時監(jiān)測系統(tǒng)|托普植保信息化監(jiān)控預警系統(tǒng)流程圖：

害蟲遠程實時監(jiān)測系統(tǒng)|托普植保信息化監(jiān)控預警系統(tǒng)云平臺：
1、隨時隨地查看園區(qū)數(shù)據(jù)
園區(qū)三維圖綜合管理，所有監(jiān)控點直觀顯示，監(jiān)測數(shù)據(jù)一目了然。
土壤數(shù)據(jù)：土壤溫度、土壤水分、土壤鹽分，土壤PH值等；
氣象數(shù)據(jù)：空氣溫度、空氣濕度、光照強度、降雨量、風速、風向、二氧化碳濃度等；
蟲情數(shù)據(jù)：蟲情照片、統(tǒng)計計數(shù)等。
植物本體數(shù)據(jù)：果實膨大、莖稈微變化、葉片溫度等；

2、隨時隨地查看園區(qū)病蟲害情況
       系統(tǒng)通過搭建在田間的智能蟲情監(jiān)測設備，可以無公害誘捕殺蟲，綠色環(huán)保，同時利用GPRS/3G移動無線網(wǎng)路，定時采集現(xiàn)場圖像，自動上傳到遠端的物聯(lián)網(wǎng)監(jiān)控服務平臺，工作人員可隨時遠程了解田間蟲情情況與變化，制定FZ措施。通過系統(tǒng)設置或遠程設置后自動拍照將現(xiàn)場拍攝的圖片無線發(fā)送至監(jiān)測平臺，平臺自動記錄每天采集數(shù)據(jù)，形成蟲害數(shù)據(jù)庫，可以各種圖表、列表形式展現(xiàn)給農(nóng)業(yè)專家進行遠程診斷。

       可遠程隨時發(fā)布拍照指令，獲取蟲情照片，也可設置時間自動拍照上傳，通過手機、電腦即可查看，無需再下田查看。

昆蟲識別系統(tǒng)，自動識別昆蟲種類，實現(xiàn)自動分類計數(shù)

歷史數(shù)據(jù)可按曲線、報表形式展現(xiàn)，清晰直觀查看所有監(jiān)測設備的監(jiān)測數(shù)據(jù)

千倍光學放大顯微鏡可定時清晰拍攝孢子圖片，自動對焦，自動上傳，實現(xiàn)全天候無人值守自動監(jiān)測孢子情況

3、墑情監(jiān)測
       各省包含眾多市縣級鄉(xiāng)鎮(zhèn)地區(qū)，如此龐大的種植面積，用報表很難將全省的墑情形象展示出來。圖形預警與災情渲染模塊，正是為了解決這個問題而設置。
       平臺將災情按嚴重程度分為不同顏色，并在省級行政圖中以點的形式表示，只要一打開平臺的行政區(qū)域圖，即可直觀顯示省內(nèi)各區(qū)域的墑情情況如何。

4、專家系統(tǒng)
該系統(tǒng)可將病蟲害FZ專家信息及聯(lián)系方式全部集中到一起，用戶可聯(lián)線專家咨詢四情危害FZ難題。

5、視頻監(jiān)控
       管理區(qū)域內(nèi)放置360°全方位紅外球形攝像機，可清晰直觀的實時查看種植區(qū)域作物生長情況、設備遠程控制執(zhí)行情況等。
       增加定點預設功能，可有選擇性設置監(jiān)控點，點擊即可快速轉換呈現(xiàn)視頻圖像。

 6、任務設置，遠程自動控制
實現(xiàn)對病蟲情監(jiān)測設備的遠程監(jiān)管與控制，設備工作情況可遠程管理。

二、害蟲遠程實時監(jiān)測系統(tǒng)|托普植保信息化監(jiān)控預警系統(tǒng)移動端：
       系統(tǒng)已實現(xiàn)與手機端、平板電腦端、PC電腦端無縫對接。方便管理人員通過手機等移動終端設備隨時隨地查看系統(tǒng)信息，遠程操作相關設備。

三、害蟲遠程實時監(jiān)測系統(tǒng)|托普植保信息化監(jiān)控預警系統(tǒng)數(shù)據(jù)采集設備：
       數(shù)據(jù)采集是實現(xiàn)信息化管理、智能化控制的基礎。由于農(nóng)業(yè)行業(yè)的特殊性，傳感器不僅布控于室內(nèi)，還會因為生產(chǎn)需要布控于田間、野外，深入土壤或者水中，接受風雨的洗禮和土壤水質(zhì)的腐蝕，對傳感器的精度、穩(wěn)定性、準確性要求較高。
1、遠程拍照式蟲情測報燈
       改變了測報工作的方式，簡化了測報工作流程，保障了測報工作者的健康。

                                       
2、遠程可拍照式孢子捕捉儀
       專為收集隨空氣流動、傳染的病害病原菌孢子及花粉塵粒而研制，主要用于檢測病害孢子存量及其擴散動態(tài)，為預測和預防病害流行、傳染提供可靠數(shù)據(jù)。收集各種花粉，以滿足應用單位的研究需要。設備可固定在測報區(qū)域內(nèi)，定點收集特定區(qū)域孢子種類及數(shù)量通過在線分析并實時傳輸?shù)焦芾砥脚_。

 
3、無線田間氣象站

特點：
①　可遠程設置數(shù)據(jù)存儲和發(fā)送時間間隔，無需現(xiàn)場操作；
②　帶攝像頭，可實時拍照并上傳至平臺，實時了解田間及作物情況；
③　太陽能供電，可在野外長期工作；
④　 可配置土壤水分、土壤溫度、空氣溫濕度、光照強度、降雨量、風速風向等17種氣象參數(shù)。

四、綠色防控設備