全部評(píng)論(1條)
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- kucdaswt 2017-07-23 00:00:00
- 濺射比蒸鍍和工作真空低一個(gè)數(shù)量級(jí)，所以膜層的含氣量要比蒸鍍高. 蒸鍍不適用于高溶點(diǎn)材料，如鉬，鎢，~~等.因?yàn)槿茳c(diǎn)高，蒸發(fā)太慢，而濺射的速度比蒸鍍快很多. 濺射不適用于低硬度材料，如非金屬材料. 濺射不適用于非導(dǎo)電材料. 蒸鍍不能控制厚度，而濺射可以用時(shí)間控制厚度. 蒸鍍不適應(yīng)大規(guī)模的生產(chǎn). 蒸鍍的電子動(dòng)能比濺射小很多，雖然含氣量少，但是膜層易脫落， 濺射的膜均勻，蒸鍍的膜ZX點(diǎn)厚，四周薄. 在國內(nèi)蒸鍍工藝比濺射工藝成熟. 當(dāng)然還有很多，一會(huì)也說不完.就看你主要想知道什么.
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