SEMITOOL產(chǎn)品中的SRD旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機是根據(jù)國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和市場需求，研究開發(fā)的旋轉(zhuǎn)沖洗甩干設備。該機型具有高潔凈度旋轉(zhuǎn)沖洗甩干功能。本系列機型可以適應從φ25mm 到φ200mm直徑（包括方形和其它特殊形狀）片式材料的旋轉(zhuǎn)沖洗甩干工藝?？捎糜诎雽w晶片、砷化鎵材料、掩膜版、太陽能電池基片、藍寶石、鈮酸鋰、光學鏡片、磁盤、光盤、醫(yī)用玻璃基片等類似材料的高潔凈度沖洗甩干。是半導體濕法清洗工藝中必不可少的主流設備之一。

SEMITOOL psc-101旋轉(zhuǎn)清洗干燥機

描述：

SEMITOOL psc-101旋轉(zhuǎn)清洗干燥機采用去離子水沖洗和加熱的氮氣干燥全自動晶片襯底后的濕化學方法。有兩個雙層干衣機和潔凈室中一堆烘干機。該系統(tǒng)使用一個可編程的方法來自動處理晶圓。

規(guī)格/性能：

一種電阻率探針可監(jiān)測浴中的化學濃度，以確保去除化學品。

無點式干燥氮氣加熱器。

可編程的程序包括漂洗，質(zhì)量沖洗，清洗，和干燥周期。

支持樣本量：

大晶片直徑：200毫米（8英寸）

晶圓直徑：75毫米（3英寸），100毫米（4英寸），150毫米（6英寸），和200毫米（8英寸）。

掩模尺寸：125毫米（5英寸），150毫米（6英寸）。

典型應用：

晶圓和掩模板的清洗和干燥。

一、主要達到的技術性能指標

1．電源及電氣控制安全性技術要求

1.1 電壓：AC220V/110V

1.2 頻率：50Hz±1Hz

1.3 功率：3kW

1.4 整機絕緣電阻大于2MΩ（用1000V兆歐表測）

1.5 各功能開關、按鍵、安全互鎖功能、緊急開關應使用靈活、動作可靠。

1.6 設備表面平整、光滑、色調(diào)一致。設備內(nèi)、外各種安全、警告標志齊全。

1.7 在設備接**志處可靠接地。

2．使用氮氣的相關安全性技術要求

2.1 使用氮氣壓力：         0.23～0.28MPa（Max）

2.2 使用氮氣耗量：         200～280L/min  (單腔)

2.3 氮氣接口管徑：         OD  3/8 英寸(紅色標記)

2.4 氮氣過濾精度：         ≤0.1μm(或按用戶要求配置)

2.5 設備用氮氣接入處減壓閥位置應有明顯禁調(diào)標志，嚴禁設備在高于氮氣設定壓力時操作運行。（提示用戶按要求配置）

2.6 未經(jīng)過潔凈化處理的氮氣管路嚴禁直接接入設備使用，避免對設備造成污染

3．去離子水的相關安全性技術要求

3.1 使用去離子水壓力：      0.25～0.3MPa（**）

3.2 使用去離子水耗量：       8～12L/min  (單腔)

3.3 去離子水接口管徑：       OD  3/8 英寸(藍色標記)

3.4 設備排水口管徑：         OD  32mm(UPVC管)

3.5  未安裝過濾器或未經(jīng)過潔凈化處理的去離子水管路嚴禁直接接入設備使用，避免對設備造成污染。

平板硫化機在生產(chǎn)的過程中有哪些技術要求，需要符合哪些規(guī)定？《GB/T 25155-2010 平板硫化機》中就有關于平板硫化機的明確規(guī)定。

☆關于液壓系統(tǒng)的技術要求

對于任一種液壓平板硫化機來講，動力液壓缸都是極重要的部件。

-當工作液達到工作壓力時，保壓 1 h，液壓系統(tǒng)的壓力降：

（1）合模力大于 2.5 MN 的平板硫化機，壓力降不應大于工作壓力的 10%；

（2）模力不大于 2.5 MN 的平板硫化機，壓力降不應大于工作壓力的 15%。

當液壓系統(tǒng)的壓力降超過規(guī)定值時，液壓系統(tǒng)應有自動補壓至工作壓力的功能。

液壓系統(tǒng)應進行 1.25 倍工作壓力的耐壓試驗，保壓 5 min，不應有外滲漏。

☆關于熱板的技術要求

-熱板應能達到的Z高溫度：蒸汽加熱為 180℃，油加熱、電加熱為 200℃。

-熱板工作員的表面粗糙度：

（1）用于帶模具硫化制品的平板硫化機，Ra≤ 3.2μm；

（2）用于不帶模具硫化制品的平板硫化機，Ra≤ 1.6μm。

-熱板開啟和閉合速度：

（1）硫化膠板、膠帶的平板硫化機不應低于 6 ㎜/s；

（2）橡膠塑料發(fā)泡的平板硫化機，開模速度不應低于 160 mm/s；

（3）其他的平板硫化機不應低于 12 mm/s。

☆關于加熱系統(tǒng)的技術要求

加熱系統(tǒng)應進行Z高工作壓力的試驗，保壓 30 min，不應有滲漏：

（1）蒸汽加熱系統(tǒng)應進行蒸汽試驗；

（2）油加熱系統(tǒng)應進行熱油試驗。

☆關于溫控裝置的技術要求

平板硫化機應裝有自動調(diào)溫裝置，在溫度達到穩(wěn)定狀態(tài)時，調(diào)溫誤差不應大于±1.5%。

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      去年東隆科技就已推出國內(nèi)自研產(chǎn)品，擁有OFDR技術的OCI 高分辨光學鏈路診斷儀，經(jīng)過一年多的市場考驗，成功的獲得了眾多客戶的青睞和認可。

       隨著與各領域工程師和研究人員的日常溝通了解到，由于實際應用場景的不同，測試指標和具體參數(shù)多樣化的特性，而單一的產(chǎn)品不能有效滿足需求。因此，東隆科技研發(fā)部經(jīng)過多方面的調(diào)研和考察，陸續(xù)推出了擁有OFDR核心技術的眾多產(chǎn)品線，它們無論從產(chǎn)品性能、各參數(shù)指標、還是價格均能滿足不同客戶的實際需求，并且在技術支持和售后服務方面，東隆科技還能做到7*24小時隨時應答，48小時上門解決！第一時間為客戶答疑解惑！ 

      近日，東隆科技推出的LGA50高分辨光學鏈路診斷儀，其原理是基于光頻域反射（OFDR）技術，測量長度50m,單次測量可實現(xiàn)從器件到鏈路的全范圍診斷。LGA50還可以輕松查找并判別光纖鏈路中的宏彎、連接點和斷點，并精確測量回損、插損和光譜等參數(shù)，其事件點定位精度高達0.1mm。它廣泛的應用于光器件、光模塊測量，光纖長度精準測量，硅光芯片測量，和光譜、群延時測量。

產(chǎn)品特點

? 波長范圍：1535~1620nm

? 空間分辨率：10μm@50m

? 測量長度：50m

? 自校準，無需人為干預，穩(wěn)定性好

產(chǎn)品參數(shù)

注明：不同模式下測量時間不同

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