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- gcv83 2008-08-20 00:00:00
- 微波等離子CVD法在石英玻璃上生長(zhǎng)金剛石薄膜. 在真空條件下采用氫氣刻蝕二氧化硅形成硅膜，用微波等離子化學(xué)氣相沉積法在玻璃上生長(zhǎng)金剛石薄膜，并用X射線衍射、Raman光譜和光電子能譜對(duì)石英玻璃上的金剛石薄膜進(jìn)行分析，指出其形成中間層SiO2/Si/SiC/C（金剛石）是在石英玻璃上生長(zhǎng)金剛石薄膜的關(guān)鍵。
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