真空鍍膜中真空系統(tǒng)的工作原理是什么?
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真空室，粗抽泵，前級泵，羅茨泵，分子（擴散泵），上下位閥，高閥，節(jié)流閥，放氣閥， 熱偶規(guī)，電離規(guī)，波紋管，等器件他們的工作流程是什么?各起到什么作用。謝謝指教.20分懸賞，《家底了>
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- 武義專** 2013-01-09 00:00:00
- 大哥 你去論壇問比這好 那里人多 ，要么去水業(yè)導航上搜搜 應該能找到答案
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- 紫の泉 2013-01-04 00:00:00
- 買本書看吧，
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- 752377662 2013-01-07 00:00:00
- 1，粗抽泵（統(tǒng)稱機械泵）他的排氣口，直接排放到大氣，但極限（能力）小。范圍（1E0~大氣壓） 2，羅茨泵，必須在排氣口接一個機械泵，工作范圍（5E-2~1000Pa)，如果沒達到工作范圍（1000Pa)以上的真空度，運轉羅茨泵，使負載大，燒壞羅茨泵的。 3，分子泵（油擴散泵）：以擴散泵為例，工作范圍（1E-7Pa~5pa)，排氣口壓力高于5Pa(正常9E-1Pa)，低于，擴散泵不起作用，還會使擴散泵油氧化。 4，粗抽閥，是機械泵開啟后，開啟粗抽閥，。。。。 下班了，你用的話，以后再答，我是做真空設備的
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- 圖拉zz 2013-01-03 00:00:00
- 維持泵是微抽擴散泵的真空，機械泵是起粗抽真空室的大氣，羅茨泵是起到增加壓力幫助機械泵精抽的，擴散泵需要加熱……太煩了說不清楚
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- 7312180551 2017-09-11 13:41:51
- 原因如下： 真空鍍膜主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。需要鍍膜的被成為基片，鍍的材料被成為靶材。基片與靶材同在真空腔中。
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