激光探針臺使用及測試內(nèi)容？

探針臺大家不陌生了，是我們半導(dǎo)體實驗室電性能測試的常用設(shè)備，也是各大實驗室的熟客。優(yōu)點太多了，成本低，用途廣，操作方便，對環(huán)境要求也不高，即使沒有超凈間，普通的壞境也可以配置，測試結(jié)果穩(wěn)定，客觀。深受工程師們的青睞。

探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。 廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。手動探針臺的主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺，探針臺可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個可調(diào)測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對芯片進(jìn)行科研分析，抽查測試等用途。

最近北軟實驗室探針臺再升級，趁機(jī)為大家總結(jié)一下探針臺的用途，若您還有新發(fā)現(xiàn)，歡迎留言交流。

激光探針臺服務(wù)內(nèi)容：

1、激光打標(biāo)；

2、表層修復(fù)線路（利用激光將兩層金屬線熔融連接）；

3、驅(qū)除短路點；

4、激光斷線；

5、干擾芯片測試；

除了以上幾項之外激光探針臺兼?zhèn)涑Ｒ?guī)探針臺功能：

1.微小連接點信號引出  

2.失效分析失效確認(rèn)

3.FIB電路修改后電學(xué)特性確認(rèn)

4.晶圓可靠性驗證

一：手動探針臺用途：

手動探針臺應(yīng)用領(lǐng)域：

Failure analysis  集成電路失效分析                   

Wafer level  reliability晶元可靠性認(rèn)證

Device characterization 元器件特性量測               

Process modeling塑性過程測試(材料特性分析)

IC Process  monitoring  制成監(jiān)控                     

Package part probing  IC封裝階段打線品質(zhì)測試

Flat panel probing 液晶面板的特性測試                

PC board probing  PC主板的電性測試

ESD&TDR testing    ESD和TDR測試                      

Microwave  probing  微波量測(高頻)

Solar太陽能領(lǐng)域檢測分析                              

LED、OLED、LCD領(lǐng)域檢測分析

二：手動探針臺的使用方式：

1.將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關(guān)，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。

2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。

3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下。

4.顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點，再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測點在顯微鏡視場ZX。

5.待測點位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢，以防動作過大誤傷芯片，當(dāng)探針針尖懸空于被測點上空時，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針，ZH則使用X軸旋鈕左右滑動，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經(jīng)接觸。

6.確保針尖和被測點接觸良好后，則可以通過連接的測試設(shè)備開始測試。常見故障的排除當(dāng)您使用本儀器時，可能會碰到一些問題，下表列舉了常見的故障及解決方法。手動探針臺技術(shù)參數(shù)。