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問(wèn)答社區(qū)

如何用干涉儀檢測(cè)平面平晶

沈利鋒01 2009-07-29 21:42:53 466  瀏覽
  • 如何計(jì)算干涉條紋誤差

參與評(píng)論

全部評(píng)論(1條)

  • ls→尛鈕 2009-07-30 00:00:00
    “計(jì)算干涉條紋誤差”,你說(shuō)的是用干涉條紋來(lái)計(jì)算平晶的面形誤差吧? 如果要定量計(jì)算,一般Z好是用移相干涉法,可以得到每一點(diǎn)的相對(duì)高度,從而得到整個(gè)面的面形。如果只有一幅干涉圖,就只能傾斜平晶或者參考鏡使得干涉條紋變成密集的直線組,然后用傅里葉變換法求解。 如果只是定性的看一看面形好壞則比較簡(jiǎn)單了,如果條紋都是直條紋,說(shuō)明面形是好的,如果條紋彎的就說(shuō)明面形不好,彎的越厲害面形越差。 如果要了解詳細(xì)的還是找本書(shū)看看吧,比如北理工出版社《光學(xué)測(cè)試技術(shù)》。

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    評(píng)論

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