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FTIR儀器的性價比哪個好

1a2b3c166 2017-07-24 03:29:33 610  瀏覽
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  • Dr佻54k汗f犯6 2017-07-25 00:00:00
    FTIR 傅氏轉(zhuǎn)換紅外線光譜分析儀  (Fourier Transform infrared spectroscopy) 用于半導體制造業(yè)。FTIR乃利用紅外線光譜經(jīng)傅利葉轉(zhuǎn)換進而分析雜質(zhì)濃度的光譜分析儀器。 目的:·已發(fā)展成熟,可Routine應用者,計 有: A.BPSG/PSG之含磷、含硼量預測。 B.芯片之含氧、含碳量預測。 C.磊晶之厚度量測?!?發(fā)展中需進一步Setup者有: A.氮化硅中氫含量預測。 B.復晶硅中含氧量預測。 C.光阻特性分析。FTIR為一極便利之分析儀器,STD的建立為整個量測之ZD,由于其中多利用光學原理、芯片狀況(i.e.晶背處理狀況)對量測結(jié)果影響至鉅。 目前所有的紅外光譜儀都是都是傅里葉變換型的,光譜儀主要由光源(硅碳棒、高壓汞燈)、邁克爾遜干涉儀、檢測器和干涉儀組成。而傅里葉變換紅外光譜儀的核心部分是邁克爾遜干涉儀,把樣品放在檢測器前,由于樣品對某些頻率的紅外光產(chǎn)生吸收,使檢測器接受到的干涉光強度發(fā)生變化,從而得到各種不同樣品的干涉圖。這種干涉圖是光隨動鏡移動距離的變化曲線,借助傅里葉變換函數(shù)可得到光強隨頻率變化的頻域圖。這一過程可有計算機完成。 用傅里葉變換紅外光譜儀測量樣品的紅外光譜包括以下幾個步驟: 1)、分別收集背景(無樣品時)的干涉圖及樣品的干涉圖; 2)、分別通過傅里葉變換將上述干涉圖轉(zhuǎn)化為單光束紅外光; 3)、將樣品的單光束光譜處以背景的單光束光譜,得到樣品的透射光譜或吸收光譜。 參考百科

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  班德液氮罐(www.cnpetjy.com)采用了先進的真空絕熱技術(shù),與傳統(tǒng)液氮罐相比,其保溫性能提高了30%以上。該技術(shù)通過在液氮罐內(nèi)部設(shè)置多層真空隔熱層,有效減少熱傳導,保持液氮的低溫狀態(tài)。經(jīng)過實驗測試,班德液氮罐在室溫下存放液氮48小時后,液氮的損失率僅為0.02%。這一數(shù)據(jù)相比其他品牌的液氮罐有著明顯的優(yōu)勢。

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